一种载板定位装置及定位方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种载板定位装置及定位方法。一种载板定位装置，包括至少两组用于定位载板的汽缸，其中，第一组汽缸靠近所述载板的第一侧边，第二组汽缸靠近所述载板的第二侧边，所述第一侧边与所述第二侧边相对，所述第二组汽缸具有第一定位附件，所述第一定位附件与所述载板第二侧边上的第二定位附件相匹配。本发明专利技术实施例中的载板定位装置通过在载板两侧设置相对的两组汽缸，并在其中一组汽缸中设置第一定位附件，使之与载板上的第二定位附件相匹配，使载板在所在平面的X、Y方向上的位置唯一确定，提高了对载板定位的准确度。而且，通过在汽缸上增加接近传感器，在载板上设置标识物，实现了对载板定位情况的监控，并在定位不准确时发出警报。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体
，尤其涉及。
技术介绍
在制造太阳能电池时，利用如图Ia所示的太阳能PECVD (Plasma-enhanced Chemical Vapor D印osition，等离子体增强化学气相沉积)设备，首先在装卸载区1将多个电池片放置在一个大的载板上，然后将载板连通电池片通过载板升降台2和传输线传入工艺腔3中进行工艺，工艺完成后再将载板通过载板升降台4和返回线5传输回装卸载区 1，将已工艺的电池片卸下，装载新的电池片，重复上述流程。在大规模生产时，就需要自动装卸载设备对载板上的电池片进行装卸载。在自动装卸载设备工作时，首先对载板进行定位，然后通过机械手将电池片放入载板上设定的格子中，载板的结构如图Ib所示。自动装卸载设备能否将电池片准确放入载板的格子之中，在很大程度上取决于载板定位是否准确，如果不能精确定位载板，即使机械手的精度再高，也无法将电池片放到指定的位置，而这直接影响后续对电池片的处理结果， 因此，载板的定位装置至关重要。现有技术中，如图2所示，载板定位装置包括A、B、C三组定位汽缸，每组各有两个汽缸，三组定位汽缸依次位于载板的三个侧边处，每组的两个汽缸之间设有一定的间距。在载板到达装卸载区后，A组中的汽缸Al、A2将载板推动到载板所在平面的X方向的特定位置，然后，B组中的汽缸Bi、B2在载板所在平面的Y方向推动载板，最后C组的小推力气缸 Cl、C2将载板抱紧。其中，X、Y方向为载板所在平面的相互垂直的两个方向，X方向即图2 中水平向右的方向。然而上述定位装置在很多情况下仍然无法对载板进行准确定位。例如，载板位置与气缸推力、载板的材质有较大关系，当气缸Al、A2推动不同质量的载板到X方向的指定位置后，由于各载板惯性不同，载板继续沿X方向运动的距离就会有差别。而且，当载板与汽缸Al、A2接触时，摩擦力的作用使得气缸Bi、B2推动时受到的力不同，导致B2伸出，但Bl 无法完全伸出，而C组气缸推力较小，无法纠正载板位置，这时，载板会逆时针旋转。因此，现在急需一种载板定位装置可以提高对载板定位的准确度。
技术实现思路
本专利技术实施例提供，能够提高对载板定位的准确度。为了解决上述技术问题，本专利技术实施例的技术方案如下一种载板定位装置，包括至少两组用于定位载板的汽缸，其中，第一组汽缸靠近所述载板的第一侧边，第二组汽缸靠近所述载板的第二侧边，所述第一侧边与所述第二侧边相对，所述第二组汽缸具有第一定位附件，所述第一定位附件与所述载板第二侧边上的第二定位附件相匹配。 进一步，所述第二组汽缸上的第一定位附件为定位柱，所述载板第二侧边上的第二定位附件为朝向所述载板内部凹陷的槽口，所述定位柱与所述槽口相匹配。 进一步，所述第二组汽缸上的第一定位附件为朝向所述第二组汽缸凹陷的槽口， 所述载板第二侧边上的第二定位附件为定位柱，所述定位柱与所述槽口相匹配。进一步，所述定位柱的形状为圆柱形，所述槽口的形状为半圆形。进一步，所述第一组汽缸包括一个汽缸。进一步，所述第一组汽缸位于所述第一侧边的中间位置，且所述第一组汽缸的宽度大于等于所述第一侧边的1/3。进一步，所述第二组汽缸包括两个汽缸，所述两个汽缸设置在所述第二侧边的两端处。进一步，所述第二组汽缸上还具有用于根据对标识物的检测确定载板定位结果的接近传感器，所述标识物位于所述第二侧边上的第二定位附件处。一种载板定位方法，包括载板定位装置的第一组汽缸靠近载板的第一侧边，推动所述载板至所述载板的第二侧边靠近所述载板定位装置的第二组汽缸，其中，所述第一侧边与第二侧边相对；当所述第二组汽缸上的第一定位附件与所述载板第二侧边上的第二定位附件相配合时，完成所述载板的定位。进一步，所述第二组汽缸上的第一定位附件与所述载板第二侧边上的第二定位附件相配合，具体为所述第二组汽缸上的圆柱形定位柱卡入所述载板第二侧边上的半圆形槽口中。进一步，还包括当所述第二组汽缸上的接近传感器检测到标识物时，完成所述载板的定位，所述标识物位于所述第二侧边上的第二定位附件处。进一步，还包括当所述第二组汽缸上的接近传感器检测不到所述标识物时，发出警报。本专利技术实施例中的载板定位装置通过在载板两侧设置相对的两组汽缸，并在其中一组汽缸中设置第一定位附件，使之与载板上的第二定位附件相匹配，从而在对载板定位完成后，使得载板在所在平面的X、Y方向上的位置可以唯一确定，提高了对载板定位的准确度。而且，通过在汽缸上增加接近传感器，在载板上设置标识物，实现了对载板定位情况的监控，并在定位不准确时可以发出警报。附图说明通过附图所示，本专利技术的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本专利技术的主旨。图Ia是现有技术中太阳能PECVD设备的基本架构示意图；图Ib是现有技术中载板的结构示意图；图2是现有技术中载板定位装置的结构示意图；图3是本专利技术实施例一种载板定位装置的结构示意图4是本专利技术实施例另一种载板定位装置的结构示意图；图5是图4所示的实施例中载板及其定位装置的剖视图；图6是本专利技术实施例一种载板的定位方法流程图；图7是本专利技术实施例另一种载板的定位方法流程图。具体实施例方式为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术，但是本专利技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。其次，本专利技术结合示意图进行详细描述，在详述本专利技术实施例时，为便于说明，表示装置结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本专利技术保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。现有技术中的载板定位装置，在利用三组定位汽缸对载板进行定位时，各组汽缸之间的位置关系以及三组汽缸与载板之间的作用关系，容易造成载板在所在平面的X、Y方向的位置产生偏差，定位不准，直接会影响后续对电池片的放置和加工。基于此，本专利技术实施例提供了，通过改变定位装置中各汽缸间的位置关系，以及汽缸与载板之间的作用，使得载板在所在平面的X、Y方向的位置可以唯一确定，提高了对载板定位的准确度。下面结合附图和实施例，对本专利技术的技术方案进行描述。参见图3，为本专利技术实施例一种载板定位装置的结构示意图。该载板定位装置包括至少两组用于定位载板的汽缸，其中，第一组汽缸靠近载板的第一侧边，第二组汽缸靠近载板的第二侧边，第一侧边与第二侧边相对，也即两组汽缸相对设置在载板的两侧，在靠近第二侧边处第二组汽缸上还具有第一定位附件，该第一定位附件与载板第二侧边上的第二定位附件相匹配。在本实施例中，以两组汽缸为例进行说明，如图3所示，第一组汽缸包含一个汽缸 21，为了在对载板10进行定位时，避免汽缸21将载板10推偏，该汽缸21可以位于载板10 的第一侧边11的中间位置，且使汽缸21的宽度大于等于第一侧边11的1/3。第二组汽缸包含两个汽缸，分别是汽缸31、汽缸32，两个汽缸31、32设置在载板10 的第二侧边12的两端处。汽缸31和汽缸32上均可设置第一定位附件，在本实施例中该第一定位附件为定位柱，具体可以是圆柱形的钢柱33。与本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种载板定位装置，其特征在于，包括至少两组用于定位载板的汽缸，其中，第一组汽缸靠近所述载板的第一侧边，第二组汽缸靠近所述载板的第二侧边，所述第一侧边与所述第二侧边相对，所述第二组汽缸具有第一定位附件，所述第一定位附件与所述载板第二侧边上的第二定位附件相匹配。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨斌，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：11