单晶炉二次加料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及单晶炉制造设备，具体是一种单晶炉二次加料装置。它包括单晶炉、设置在单晶炉内的石英坩埚，单晶炉内石英坩埚的上方设有加料筒，加料筒的顶端通过法兰盘设置在炉口上，加料筒中心处设有套管；吊杆自上而下贯穿于套管并通到加料筒底部；吊杆底部设置有与加料筒相配合的托碗；托碗的顶面为锥形面；单晶炉炉口处设置有控制吊杆升降的升降装置。采用这样的结构后，由于加料筒内能够放置硅料增加了单晶炉的投料量；手柄控制的升降装置使结构简单方便操作；设置于底部的锥形面的托碗使其与加料筒的密封性良好同时也有利于硅料顺利的掉落到单晶炉内进一步提高了使用性能；简单的结构与良好的密封性提高了单晶炉的投料量增加了产能。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅制造设备，具体是一种单晶炉二次加料装置。
技术介绍
单晶炉是生产单晶硅的重要设备，单晶炉内石英坩埚的空间是有限的，只能存放一定数量的硅料，而单晶炉熔料过程中硅由固体熔化为液体后，空间占用减小，因而石英坩埚还有较大的装料空间，如果为了提高产量进行二次投料，只能打开炉盖从炉口投入，这样会使炉温降低，压力减小使其产能较低低，同时也增加了能耗，这就需要一种不但能保证炉温和压力而且能进行二次投料的装置，中国专利公开了一种专利号为ZL200920041773.9 的技术专利，它公开一种单晶炉掺杂料斗，用于直拉式硅单晶炉掺杂、二次或多次投料，它虽然实现了二次投料，但是由于密封性问题仍然达不到产能的要求。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种不但具有良好的密封性而且能够提高单晶炉的投料量，增加产能的单晶炉二次加料装置。为了解决上述技术问题，本技术的单晶炉二次加料装置包括单晶炉，设置在单晶炉内的石英坩埚，单晶炉内石英坩埚的上方设有加料筒，加料筒的顶端通过法兰盘设置在单晶炉颈部，加料筒中心处设有套管；吊杆自上而下贯穿于套管并通到加料筒底部； 吊杆底部设置有与加料筒相配合的托碗；本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种单晶炉二次加料装置，包括单晶炉（１）、设置在单晶炉（１）内的石英坩埚（６），其特征在于：所述单晶炉（１）内石英坩埚（６）的上方设有加料筒（２），所述加料筒（２）的顶端通过法兰盘（７）设置单晶炉颈部，加料筒（２）中心处设有套管（４）；吊杆（３）自上而下贯穿于套管（４）并通到加料筒（２）底部；所述吊杆（３）底部设置有与加料筒相配合的托碗（５）；所述托碗（５）的顶面为锥形面；所述单晶炉炉口处设置有控制吊杆（３）升降的升降装置（８），升降装置由设置在单晶炉外部的手柄（９）驱动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙飞鹏，
申请(专利权)人：镇江环太硅科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32