【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蒸汽冷凝水的回收利用方法及装置，特别涉及一种用于超纯水预处理 系统的蒸汽冷凝水的回收利用方法及装置。
技术介绍
在半导体生产过程中，需要使用超纯水或高纯度的去离子水。半导体生产用纯水 不同于一般的纯水制备，它对水质具有更为严格的规定，属于超纯水范畴。采用反渗透作预 处理再配上电去离子装置，这是目前制取超纯水比较经济与环保的工艺，不需要用酸碱进 行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其中反渗透系统的最理想的温度为22摄氏度左右，在冬天，原水进水的温度经常 远低于22摄氏度，如果要保证22摄氏度的水温，必须对原水采用加温措施。现有技术中， 所选的加温的方式蒸汽加热，对于较大水量系统来说，能量消耗非常大，每1吨水从10度加 热到20度需要耗费180度的市政蒸汽0. 4吨，折合人民币90元。每吨蒸汽冷凝水从60度 降低到20度含有的热量相当于1. 61吨市政蒸汽，折合人民币362元。半导体生产区使用市政蒸汽换热的同时会产生大量的蒸汽冷凝水，蒸汽冷凝水的 水质接近蒸馏水，温度为60-80摄氏度。传统的蒸汽冷凝水处理方法是直接将冷凝水排入 冷却塔中冷却...
【技术保护点】
一种蒸汽冷凝水回收利用方法，包括以下步骤： （１）将蒸汽冷凝水与原水混合，进行热交换，实现原水的温度升高； （２）将混合后的水通过过滤装置进行过滤保证水质； （３）将过滤后的水通过第二道热交换系统进行加热，达到超纯水系统设定温度２２摄氏度后通入超纯水预处理系统中。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈玉峰，周金锋，徐雪峰，张靖华，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31
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