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本发明提供一种蒸汽冷凝水回收利用方法及装置。本发明的特点在于，在超纯水预处理系统原水水温低于超纯水预处理系统对原水的温度要求时，利用蒸汽冷凝水与原水混合，使原水的水温上升，混合后的水通过砂滤后通过热交换系统使水温达到超纯水预处理的水温及水质...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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