太阳能级单晶炉控制装置制造方法及图纸

技术编号:6984837 阅读:300 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种太阳能级单晶炉控制装置,其包括:用于检测单晶硅棒的直径的视觉系统;用于探测单晶硅棒所处环境的温度的红外温度传感器;与所述视觉系统、红外温度传感器分别连接的,用于接收视觉系统和/或红外温度传感器传输的数据,并根据接收到的数据产生对应的控制信息的处理器;以及与所述处理器相连接,用于接收和执行所述处理器产生的控制信息的伺服。本实用新型专利技术的有益效果为达到了全自动高精度精确提炼单晶硅的目的。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅提炼设备,尤其涉及太阳能级单晶炉控制装置
技术介绍
单晶炉控制装置专用于太阳能用单晶硅提炼设备,主要是把多晶硅通过化料、引晶、放肩、等径、收尾提炼出。单晶直径在生长过程中可受到坩埚加热温度、籽晶提拉速度与转速、坩埚跟踪速度与转速、保护气体氩气的流速与温度等因素的影响。在忽略一些干扰因素影响情况下,单晶等径生长主要受温度和拉速影响。因此,炉内热场和生长速度的精确控制是单晶等径控制的重点,由于这种控制系统是一个缓慢时变,并且具干扰严重的非最小相位系统,用一般常规仪表控制手段来实现自动控径极为困难。在晶体生长过程中,晶体的直径主要受籽晶上升速度和熔体温度的变化而变大或变小,当晶升速度增大时,晶体直径变小,反之当晶升速度减小时,晶体直径变大。当熔体温度升高时,晶体直径变小,反之当熔体温度下降时,晶体直径变大,因此,晶体直径的控制是通过控制晶升速度和加热器温度而实现的。目前太阳能级单晶炉控制存在着自动化控制不高的情况,大部分是半自动控制, 对于目前市场对单晶硅需求来说,全自动、高精度单晶提炼设备是必然趋势。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是目前太阳能级单晶炉控制存在着自动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能级单晶炉控制装置,其特征在于,包括:用于检测单晶硅棒的直径的视觉系统;用于探测单晶硅棒所处环境的温度的红外温度传感器;与所述视觉系统、红外温度传感器分别连接的,用于接收视觉系统和/或红外温度传感器传输的数据,并根据接收到的数据产生对应的控制信息的处理器;以及与所述处理器相连接,用于接收和执行所述处理器产生的控制信息的伺服。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:周伏华
申请(专利权)人:上海慧桥电气自动化有限公司上海慧桥电气控制工程有限公司上海慧时软件有限公司上海慧桥自动化科技有限公司上海慧桥电气设备成套有限公司
类型:实用新型
国别省市:31

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