一种光滑反射表面的合成孔径数字全息三维显微观测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光滑反射表面的合成孔径数字全息三维显微观测装置，该装置包括有光源、分光单元、空间滤波器、平凸透镜、平面反射镜、消偏振分光棱镜、光束调整器、旋转载物台、CMOS相机；本发明专利技术装置的光路为：光源出射的激光入射至分光单元中，经分光单元进行分光处理后输出照明光、参考光；两束光分别顺次经空间滤波器、平凸透镜进行扩束、整形；照明光经反射镜反射输出平行光透过消偏振分光棱镜，斜入射至旋转载物台上的观测目标的表面，物表面的反射光再入射至消偏振分光棱镜；参考光的角度和位置由光束调整器调整，也入射至消偏振分光棱镜；消偏振分光棱镜对入射的参考光、物光进行合光处理，得到合并光束，该合并光束形成的干涉全息图被CMOS相机的光敏面捕获。在获取中，通过旋转载物台的旋转，多次调整照明光的入射角度，得到包含有不同频率分量的物表面全息图，再进行融合，实现合成孔径数字全息三维显微观测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种三维显微观测系统，更特别地说，是指一种针对光滑反射表面的合成孔径数字全息三维显微观测系统。
技术介绍
数字全息技术是利用电荷耦合器件(Charge Coupled Device，CCD)或金属氧化物半导体(Complementary Metal-Oxide Semiconductor, CMOS)等光电成像探测器件来代替传统的成像胶片、干板等材料作为记录介质，数字化的记录全息图，再利用计算机模拟再现参考光对全息图进行照射，通过模拟全息图的光学衍射过程，以数字方法重构三维物光场， 从而获得物光场的振幅和相位的信息，其优点包括(1)以非接触方式获取物体三维信息， 且无需对样品进行预处理，对观测样本影响非常小、系统结构简单等优点；(2)数字全息图的记录与再现过程都以数字化形式完成，因此能够以数字形式重构物光场并可以对物体三维信息进行定量分析；C3)在数字重构过程中，可方便的运用数字图像处理技术，矫正、补偿光学像差以及各种噪声和探测器非线性效应等的影响。然而，由于生产技术的制约，数字全息再现物光场的分辨率受光电图像传感器 (CCD、CMOS)性能指标的制约，主要表现在两个本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种光滑反射表面的合成孔径数字全息三维显微观测装置，包括有光源（１）、ＣＭＯＳ相机（１１），其特征在于：还包括有分光单元（２）、第一空间滤波器（３）、第一平凸透镜（４）、第三平面反射镜（５）、光束调整器（６）、旋转载物台（７）、第二空间滤波器（８）、第二平凸透镜（９）、消偏振分光棱镜（１０）；其中，第一空间滤波器（３）与第二空间滤波器（８）的结构相同；第一平凸透镜（４）与第二平凸透镜（９）的结构相同；所述合成孔径数字全息三维显微观测装置的光路连接为：光源（１）出射的激光（１ａ）通过分光单元（２）分别输出照明光（２１）和参考光（２２）；照明光（２１）顺次经过第一空间滤波器（３）、第一平凸透镜...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：肖文，潘锋，王璠璟，伊小素，刘烁，戎路，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：11