【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种载具,尤其涉及一种应用于溅镀过程中的溅镀载具。
技术介绍
在溅镀工艺过程中,为了能够提高生产效率,通常会将多个待镀膜工件同时装载在一个托盘上,随后将托盘连同设置在其上的待镀膜工件一同送入镀膜装置中进行溅镀。 由于溅镀过程中的环境要求高,因此,对托盘本身的物理特性要求也非常的苛刻,比如,需要托盘耐高温,变形率小等。传统的托盘通常采用塑胶或者金属制造。采用塑胶制造的托盘成本较低但容易变形。而采用金属制造的托盘不易变形但成本高,而且难以清洗。
技术实现思路
有鉴于此,有必要提供一种成本低且不易变形的溅镀载具。一种溅镀载具,其包括一个底座以及一呈阵列式排布在所述底座一侧的多个支撑座。所述溅镀载具是由质量比为9 1的聚碳酸酯及玻璃纤维经熔融共混后模制成型。相较现有技术,本专利技术溅镀载具通过采用聚碳酸酯与玻璃纤维混合后模制而成, 因此,耐热性好,变形小,无静电残留,加工容易,制造成本低等特点。附图说明图1是本专利技术实施方式中提供的溅镀载具的立体图。图2是图1中溅镀载具的另一视角的立体图。主要元件符号说明溅镀载具100底座110上表面112下表面114支撑壁115支脚116加强筋118环形壁119支撑座120具体实施例方式请参阅图1,本专利技术较佳实施方式提供的一种溅镀载具100,其包括一个底座110, 以及呈阵列式排布在所述底座Iio —侧的多个支撑座120。所述底座110呈矩形,其包括一个上表面112以及一个与所述上表面112相对的下表面114。所述支撑座120间隔均勻的设置在所述底座110的上表面112上。所述底座110的下表面114四周 ...
【技术保护点】
1.一种溅镀载具,其包括一个底座以及一呈阵列式排布在所述底座一侧的多个支撑座,其特征在于:所述溅镀载具是由质量比为9∶1的聚碳酸酯及玻璃纤维经熔融共混后模制成型。
【技术特征摘要】
1.一种溅镀载具,其包括一个底座以及一呈阵列式排布在所述底座一侧的多个支撑座,其特征在于所述溅镀载具是由质量比为9 1的聚碳酸酯及玻璃纤维经熔融共混后模制成型。2.如权利要求1所述的溅镀载具,其特征在于所述底座呈矩形并包括一个上表面以及一个与所述上表面相对的下表面,所述支撑座间隔均勻的设置在所述底座的上表面上, 所述底座的下表面四周延伸一个支撑壁,所述支撑壁四角位置处沿垂直于所述下表面的方向分别延伸出一个支脚。3.如...
【专利技术属性】
技术研发人员:林后尧,裴绍凯,
申请(专利权)人:鸿富锦精密工业深圳有限公司,鸿海精密工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:94
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