【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种旋转靶装置，尤其涉及一种易换靶材组件式旋转靶装置。
技术介绍
目前生产镀膜玻璃的设备中大多采用平面溅射阴极靶材，其工作原理是将需镀膜的玻璃送入真空镀膜室内，真空镀膜室内通入一定量的高纯工艺气体一如氧气、氮气或氩气，在电磁场及游离电子的作用下工艺气体形成带正电的等离子体，等离子体在载有高负电压的阴极的吸引下，在磁场的控制下，按照一定的轨迹和力度轰击固定安装在真空镀膜室内的平面阴极靶材上的镀膜用材料，镀膜材料被气体分子碰撞出来，按照一定方向沉积在玻璃上形成一定厚度的膜层。但是，现有的装置间距固定，无法适应不同型号长度的靶材组件替换使用，同时， 会导致靶材安装位置出现间隙，影响加工效果和使用寿命。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种易换靶材组件式旋转靶装置。为实现本专利技术的目的易换靶材组件式旋转靶装置，包括有加工箱体，所述的加工箱体底部设置有底板，其特征在于所述底板的一侧安装有驱动端头组件，所述底板的另一侧安装有水电端头组件；所述驱动端头组件与水电端头组件的工作衔接端中安装有靶材组件。进一步地，上述的易换靶材组件式旋转靶装置，其中，所述的驱动端头组件与水电端头组件的工作衔接端均设置有伸缩式轴用挡圈。更进一步地，上述的易换靶材组件式旋转靶装置，其中，所述水电端头组件的输出端设置有独立的导电杆与水输送管。再进一步地，上述的易换靶材组件式旋转靶装置，其中，所述的驱动端头组件与底板的衔接端设置基座合件；所述水电端头组件与底板的衔接端亦设置有基座合件。采用本专利技术技术方案，通过有伸缩式轴用挡圈的存在，可以有效控制驱...
【技术保护点】
１．易换靶材组件式旋转靶装置，包括有加工箱体，所述的加工箱体底部设置有底板，其特征在于：所述底板的一侧安装有驱动端头组件，所述底板的另一侧安装有水电端头组件；所述驱动端头组件与水电端头组件的工作衔接端中安装有靶材组件。
【技术特征摘要】
1.易换靶材组件式旋转靶装置，包括有加工箱体，所述的加工箱体底部设置有底板，其特征在于所述底板的一侧安装有驱动端头组件，所述底板的另一侧安装有水电端头组件； 所述驱动端头组件与水电端头组件的工作衔接端中安装有靶材组件。2.根据权利要求1所述的易换靶材组件式旋转靶装置，其特征在于所述的驱动端头组件与水电端头...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。