液态源汽化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种液态源汽化装置，包括汽化容器，其中，所述汽化容器顶部开孔插有鼓泡管路、压力表和液位计，所述汽化容器设有内部电加热棒和外部加热器，所述汽化容器出口处设置有质量流量计和蒸汽出口阀门。本实用新型专利技术提供的液态源汽化装置，通过设置鼓泡管路、内部电加热棒和外部加热器，使用流量控制模块、压力控制装置和温度控制装置共同调节汽化容器输出的气体量，根据用气量切换蒸发和鼓泡模式，使系统同时适用于不同用量的液态源汽化系统，大大改善了可操作性和灵活性。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种汽化装置，尤其涉及一种液态源汽化装置。
技术介绍
液态源和特种气体一样，是电子行业的重要原料。液态源常温下蒸汽压很低，以液态存在。但必须转化为气态，才能参与工艺反应。如光纤预制棒的制造工艺需要用到 SiC14、GeC14、P0C13等液态源，用于芯层和包层的沉积工艺。硅基太阳能电池生产中用到的P0C13，需要经过氮气携带进入扩散炉，生成PN结。薄膜太阳能电池成产用到的DESi， 蒸发后参与反应，生成TCO玻璃。半导体芯片制造用到的TE0S，经过蒸发进入反应腔，生成 Si02绝缘层。芯片制造中用到的TCS，汽化后用于制造硅外延片。工艺中化学品输送需要使用的输送设备是整个工业系统的关键，而汽化装置又是整个输送设备的核心部分。对于光纤行业，汽化装置将直接影响到预制棒的光学性能，决定了整个系统能否生产出合格预制棒。液态源传统的汽化通常有蒸发或者气体鼓泡携带两种方式实现。两种方式通常是由终端用气量的多少来划分并选择，通常用气量多时采用蒸发方式，用气量少时采用鼓泡携带方式，两种方式单独使用。其中蒸发方式通常采用内部电加热或外部加热的方式，使蒸发器中的液态源完成汽化。气体鼓泡携带本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种液态源汽化装置，包括汽化容器（１），其特征在于，所述汽化容器（１）顶部开孔插有鼓泡管路（１０）、压力表（１１）和液位计（１２），所述汽化容器（１）设有内部电加热棒（１３）和外部加热器（１４），所述汽化容器（１）出口处设置有质量流量计（４）和蒸汽出口阀门（５）。

【技术特征摘要】
1.一种液态源汽化装置，包括汽化容器(1 )，其特征在于，所述汽化容器(1)顶部开孔插有鼓泡管路(10)、压力表(11)和液位计(12)，所述汽化容器(1)设有内部电加热棒(13) 和外部加热器(14)，所述汽化容器(1)出口处设置有质量流量计(4)和蒸汽出口阀门(5)。2.如权利要求1所述的液态源汽化...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东升，龚小雷，张敏，
申请(专利权)人：上海正帆科技有限公司，上海正帆超净技术有限公司，上海正帆半导体设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31