检验系统中台面加速期间的扫描技术方案

一种系统和方法。该方法用于获得电气电路的图像，并且包括：沿着第一扫描方向移动用于支撑所述电气电路的台面，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；在所述台面的所述移动期间由编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；即使当基本地改变所述台面的速率时，响应于所述位置信号而触发摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第一扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；以及由摄像机获取所述电气电路的区域的图像。

【技术实现步骤摘要】
检验系统中台面加速期间的扫描相关申请本专利申请要求递交日期为2010年3月18日、序号为61/316887的美国临时专利的优先权，该临时专利通过引用被并入本文。
技术介绍
在检验电气电路(如印刷电路板、半导体晶片等)期间，采用高分辨率的摄像术来检测缺陷。电气电路通常被置于机械台面(以下称作“台面”)上，台面(根据预定的扫描模式)相对于获得电气电路的图像的摄像机移动。可替代地，摄像机可以相对于台面移动。摄像机被连接到帧捕获器。帧捕获器以固定的速率获得图像。控制器发送命令到帧捕获器以开始图像获取以及结束图像获取。图1说明了现有技术中的扫描模式110，其被认为是一种光栅扫描模式。光栅扫描模式包括多个平行于X轴的移动以及在每对X轴移动之间的Y轴移动。光栅扫描模式通过沿着X轴的移动而开始，覆盖电气电路的水平切片(slice)。移动从(当经过标记为130的加速距离时)加速台面直到达到期望速率而开始。当靠近该切片的末端时，台面在经过减速距离140时减速。而后，台面沿Y轴移动，其中沿Y轴的移动对应于该切片的宽度120。之后台面反转X轴移动方向，并且开始沿X轴加速(经过加速距离130)直到其达到稳定速度为止。图2是说明现有技术的扫描方案的时间图。该时间图说明了台面的速率以及X轴扫描的单个往复期间所产生的各种信号。图1说明了一个加速时段(在T191和T494之间)，其中台面的速率以线性方式增加，一个稳定状态时段(在T494和T595之间)，其中台面的速率被维持(作为期望速率)，以及一个减速时段(在T595和T696之间)，其间台面减速。图2进一步说明了控制器产生的开始(START) /停止(STOP)信号，其指示不应忽略摄像机图像数据——因为加速或减速时段期间产生的摄像机图像数据被认为是无效的。即使在加速和减速时段期间帧捕获器也可以产生触发信号一摄像机能够输出摄像机图像数据一但是该数据被忽略掉。当台面达到期望速率时(在T494)，控制器将START信号21输出到帧捕获器，并且当减速时段开始时(在T595)，将END (结束)信号22输出到帧捕获器。现有技术的系统覆盖的扫描范围对应于台面在恒定速度时覆盖的距离170。该距离(170)小于总的X轴移动距离(180)。台面的加速和减速时段(由距离130和140表示) 减少了摄像机的总运行时间。START信号21不同步于触发信号以及摄像机图像数据——因此在START信号21 和有效的摄像机图像数据的接收之间可能存在时间间隙(有效的摄像机图像数据的第一脉冲由41表示)。因此，加速和减速时段期间的摄像机图像数据被忽略，并且在达到恒定速度后存在一个时间间隙。加速时段引起的空闲时间由图2中的线160指示。
技术实现思路
一种用于获取电气电路的图像的方法，所述方法包括沿着第一扫描方向移动用于支撑所述电气电路的台面，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；在所述台面的所述移动期间由编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；即使当基本地改变所述台面的速率时，响应于所述位置信号而触发摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第一扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；以及由摄像机获取所述电气电路的区域的图像。所述方法可以包括基本地改变所述台面的速率，其中基本地改变所述台面的速率包括将所述台面的速率改变至少百分之五十。所述方法可以包括基本地改变所述台面的速率，其中基本地改变所述台面的速率包括在所述移动开始时加速所述台面直到达到期望速率，以及在所述移动结束时使所述台面减速；其中所述方法包括在加速和减速时触发所述摄像机以便获得图像。所述方法可以包括响应于所述位置信号以及响应于光学放大信息而产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。所述方法可以包括对所述位置信号进行计数，并且每当计数了至少十个位置信号时产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。所述方法可以包括沿第二扫描方向移动所述台面，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；其中所述第二扫描方向不同于所述第一扫描方向；在所述台面沿所述第二扫描方向移动期间由所述编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第二扫描方向的第二距离的移动；即使当基本地改变所述台面沿所述第二扫描方向的速率时， 响应于所述位置信号而触发所述摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第二扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；以及由摄像机获取所述电气电路的区域的图像。一种系统包括台面，用于支撑电气电路并且沿着第一扫描方向移动，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；编码器，其被安排成在所述台面的所述移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；帧捕获器，其被安排成即使当基本地改变所述台面的速率时，响应于所述位置信号而触发摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第一扫描方向移动预定的距离， 所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；并且其中，所述摄像机可以被安排成响应于触发信号而获取所述电气电路的区域的图像。所述台面可以被安排成将所述台面的速率改变至少百分之五十。所述台面可以被安排成在所述移动开始时加速直到达到期望速率，以及在所述移动结束时减速；并且其中，所述帧捕获器可以被安排成当所述台面加速和减速时触发所述摄像机以便获得图像。控制器可以被安排成响应于所述位置信号以及响应于光学放大信息而产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。所述控制器可以被安排成对所述位置信号进行计数，并且每当计数了至少十个位置信号时产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。所述台面可以被安排成沿着第二扫描方向移动，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；其中所述第二扫描方向不同于所述第一扫描方向；其中所述编码器可以被安排成在所述台面沿所述第二方向移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第二扫描方向的第二距离的移动；其中所述帧捕获器被安排成即使当基本地改变所述台面沿所述第二扫描方向的速率时，响应于所述位置信号而触发所述摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第二扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；并且其中所述摄像机可以被安排成获取所述电气电路的区域的图像。一种用于获取电气电路图像的方法，所述方法包括沿着第一扫描方向移动用于支撑所述电气电路的台面，其中所述移动从加速所述台面直到达到第一期望速率而开始； 在所述台面的所述移动期间由编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；基于(a)所述位置信号以及(b)所述第一期望速率的值，由控制器确定何时产生触发信号序列中的第一触发信号，其中当所述加速结束时，所述第一触发信号将立即触发所述摄像机以便获取所述电气电路的区域的第一图像；由所述触发信号序列触发所述摄像机；以及当所述台面的速率被维持时，由所述摄像机获取所述电气电路的区域的图像；其中当所述加速结束本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于获取电气电路的图像的方法，所述方法包括：沿着第一扫描方向移动用于支撑所述电气电路的台面，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；在所述台面的所述移动期间由编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；即使当基本地改变所述台面的速率时，响应于所述位置信号而触发摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第一扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；以及由摄像机获取所述电气电路的区域的图像。

【技术特征摘要】
2010.03.24 US 61/316,8871.一种用于获取电气电路的图像的方法，所述方法包括沿着第一扫描方向移动用于支撑所述电气电路的台面，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；在所述台面的所述移动期间由编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；即使当基本地改变所述台面的速率时，响应于所述位置信号而触发摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第一扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；以及由摄像机获取所述电气电路的区域的图像。2.根据权利要求1所述的方法，其中基本地改变所述台面的速率包括将所述台面的速率改变至少百分之五十。3.根据权利要求1所述的方法，其中基本地改变所述台面的速率包括在所述移动开始时加速所述台面直到达到期望速率，以及在所述移动结束时使所述台面减速；其中所述方法包括在加速和减速时触发所述摄像机以便获得图像。4.根据权利要求1所述的方法，包括响应于所述位置信号以及响应于光学放大信息而产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。5.根据权利要求1所述的方法，包括对所述位置信号进行计数，并且每当计数了至少十个位置信号时产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。6.根据权利要求1所述的方法，包括沿第二扫描方向移动所述台面，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；其中所述第二扫描方向不同于所述第一扫描方向；在所述台面沿所述第二扫描方向移动期间由所述编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第二扫描方向的第二距离的移动；即使当基本地改变所述台面沿所述第二扫描方向的速率时，响应于所述位置信号而触发所述摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第二扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；以及由摄像机获取所述电气电路的区域的图像。7.一种系统，包括台面，用于支撑电气电路并且沿着第一扫描方向移动，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；编码器，其被安排成在所述台面的所述移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；帧捕获器，其被安排成即使当基本地改变所述台面的速率时，响应于所述位置信号而触发摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第一扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；并且其中，所述摄像机被安排成响应于触发信号而获取所述电气电路的区域的图像。8.根据权利要求7所述的系统，其中所述台面被安排成将所述台面的速率改变至少百分之五十。9.根据权利要求7所述的系统，其中所述台面被安排成在所述移动开始时加速直到达到期望速率，以及在所述移动结束时减速；并且其中，所述帧捕获器被安排成当所述台面加速和减速时触发所述摄像机以便获得图像。10.根据权利要求7所述的系统，包括控制器，所述控制器被安排成响应于所述位置信号以及响应于光学放大信息而产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。11.根据权利要求10所述的系统，其中所述控制器被安排成对所述位置信号进行计数，并且每当计数了至少十个位置信号时产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。12.根据权利要求7所述的系统，其中所述台面被安排成沿着第二扫描方向移动，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；其中所述第二扫描方向不同于所述第一扫描方向；其中所述编码器被安排成在所述台面沿所述第二方向移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第二扫描方向的第二距离的移动；其中所述帧捕获器被安排成即使当基本地改变所述台面沿所述第二扫描方向的速率时，响应于所述位置信号而触发所述摄像机以...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·泽维，E·特里古卜，Y·库利克，
申请(专利权)人：康代有限公司，
类型：发明
国别省市：IL