检查包括光敏聚酰亚胺层的物体制造技术

本公开涉及但不限于检查包括光敏聚酰亚胺层的物体。一种用于确定被定位于光敏聚酰亚胺层上的物体的属性的方法，其中，光敏聚酰亚胺层被定位于作为辐射反射层的下层上，所述方法包括：通过照明单元用第一紫外线辐射来照射光敏聚酰亚胺层的区域；通过第一传感器感测从所述区域反射的第一反射紫外线辐射；以及通过处理器至少部分地基于第一反射紫外线辐射来确定物体的属性。

Examination of objects including photosensitive polyimide layers

【技术实现步骤摘要】
检查包括光敏聚酰亚胺层的物体交叉引用本申请要求提交日期为2018年2月5日的序列号第62/626,174号美国临时专利的优先权。背景光敏聚酰亚胺(PSPI)层被定位于晶片的辐射反射层之上的应用有所增加。辐射反射层可以是硅层或另外的层。对于物体的三维(3D)度量，诸如凸起(bump)高度的检查和度量，如图1所示，由于来自晶片的双重反射，PSPI层给自动光学检查(AOI)方法带来了新的挑战。图1示出了被定位于晶片40上的凸起41，晶片40包括PSPI层42，PSPI层42位于作为辐射反射层的下层43之上。凸起的高度是凸起的顶部的高度值和凸起的底部的高度值之间的差值。凸起的底部的高度值是PSPI层的上表面的高度值。凸起的顶部的高度值可以(利用照明单元20)通过用辐射21照射凸起的顶部并(通过图像传感器10)收集从凸起的顶部反射的辐射31来进行确定。当用辐射22照射PSPI层时，图像传感器接收(a)来自PSPI层的上表面的第一反射辐射32和(b)第二反射辐射33。第二反射辐射33是从底层43反射的。第一反射辐射22由来自PSPI层的上表面的辐射22的第一部分的反射产生的。辐射22的第二部分穿过PSPI层42，到达下层32，被下层43反射，(再次)穿过PSPI层，并且到达图像传感器。第二反射辐射33引入高度误差。这阻止了以可靠且准确的方式确定凸起高度。随着晶片级芯片封装段中的半导体工业趋向于2-3微米的较低轮廓的凸起，这个问题变得更加重要，且需要解决方案。概述可以提供一种非暂时性计算机可读介质，其可以存储用于通过照明单元用第一紫外线辐射照射光敏聚酰亚胺层的区域的指令；其中，物体可以被定位于光敏聚酰亚胺层上，其中，光敏聚酰亚胺层可以被定位于可以是辐射反射层的下层上；通过第一传感器感测从该区域反射的第一反射紫外线辐射；以及通过处理器至少部分地基于第一反射紫外线辐射来确定物体的属性。可以提供一种自动光学检查系统，其可以包括第一照明单元、第一传感器和处理器；其中，该照明单元可以被配置成用第一紫外线辐射照射光敏聚酰亚胺层的区域；其中，物体可以被定位于光敏聚酰亚胺层上；其中，光敏聚酰亚胺层可以被定位于可以是辐射反射层的下层上；其中，该第一传感器可以被配置为感测从该区域反射的第一反射紫外线辐射；并且其中，该处理器可以被配置成至少部分地基于该第一反射紫外线辐射来确定该物体的属性。可以提供一种用于确定被定位于光敏聚酰亚胺层上的物体的属性的方法，其中，光敏聚酰亚胺层可以被定位于可以是辐射反射层的下层上。该方法可以包括通过照明单元用第一紫外线辐射来照射光敏聚酰亚胺层的区域；通过第一传感器感测从该区域反射的第一反射紫外线辐射；以及通过处理器至少部分地基于第一反射紫外线辐射来确定物体的属性。该方法可以包括用第二辐射来照射物体；感测可以从物体的不同于物体的底部的部分反射的第二反射辐射；并且其中，对物体的属性的确定也可以至少部分地基于第二反射辐射。第二反射辐射可以从物体的顶部反射，并且其中，物体的属性可以是物体的高度。第二辐射可以是可见光辐射。第二辐射可以是紫外线辐射。第一紫外线辐射的波长可以低于400纳米。该方法可以包括确定是否用第一紫外线辐射来照射该区域；以及仅当确定用第一紫外线辐射来照射该区域时，用第一紫外线辐射来照射该区域。在确定之前，可以用不同于第一紫外线辐射的第三辐射照射该区域；收集来自该区域的第三反射辐射；以及其中，确定是否用第一紫外线辐射来照射该区域可以至少部分地基于第三反射辐射。该方法可以包括当第三反射辐射表现出模糊性(ambiguity)时，确定用第一紫外线辐射照射该区域。第三辐射可以是可见光辐射。用第一紫外线辐射照射该区域可以包括通过紫外线源发射第一紫外线辐射；通过光学收集器收集第一紫外线辐射，该光学收集器可以被光学耦合到至少一根光纤；通过该至少一根光纤并朝向至少一个光学元件传送第一紫外线辐射；以及，通过至少一个光学元件将第一紫外线辐射引导到该区域上。光学收集器可以是径向对称的并且具有凹形。光学收集器可以是中空的。光学收集器可以是涂有反射要素(reflectiveelement)的透明体。至少一根光纤可以是光纤束。至少一根光纤可以包括液芯。第一照明单元可以被配置成用第二辐射照射物体；该第一传感器可以被配置为感测第二反射辐射，该第二反射辐射可以是从物体的不同于物体的底部的部分反射的；并且处理器可以被配置为也响应于第二反射辐射来确定物体的属性。自动光学检查系统可以包括第二照明单元和第二传感器；第二照明单元可以被配置成用第二辐射照射物体；第二传感器可以被配置成感测可以是从物体的不同于物体的底部的部分反射的第二反射辐射；以及其中，该处理器可以被配置为也响应于第二反射辐射来确定物体的属性。附图说明根据以下结合附图的详细描述，将更全面地理解和认识本专利技术，在附图中：图1示出了现有技术的来自PSPI层的反射；图2示出了根据本专利技术的实施例的、所挑选的紫外光对于PSPI特性和相机灵敏度的响应；图3示出根据本专利技术的实施例的系统；图4示出根据本专利技术的实施例的系统的一部分；图5示出根据本专利技术的实施例的关于双模式操作的方法；图6示出了一种方法；图7示出了一种方法；和图8示出了高度测量的示例。专利技术的详细描述因为实现本专利技术的装置在很大程度上包括本领域技术人员已知的电子部件和电路，所以电路细节将不会比如上所述的必须考虑的那些在更大程度上进行解释，以便理解和领悟本专利技术的基本概念，以及以便不混淆或干扰本专利技术的教导。说明书中对方法的任何引用应当加以必要修改地应用于能够执行该方法的系统，并且应当加以必要修改地应用于非暂时性计算机程序产品，该非暂时性计算机程序产品存储一旦由计算机执行就导致执行方法的指令。非暂时性计算机程序产品可以是芯片、存储单元、盘(disk)、光盘(compactdisk)、非易失性存储器、易失性存储器、磁存储器、忆阻器、光储存单元等。说明书中对系统的任何引用应当加以必要修改地应用于能够由系统执行的方法，并且应当加以必要修改地应用于非暂时性计算机程序产品，该非暂时性计算机程序产品存储一旦由计算机执行就导致执行方法的指令。在说明书中对非暂时性计算机程序产品的任何引用应当加以必要修改地应用于能够在应用存储在非暂时性计算机程序产品中的指令时所执行的方法，并且应当加以必要修改地应用于能够执行存储在非暂时性计算机程序产品中的指令的系统。术语“包括(comprising)”与“包括(including)”、“包含(containing)”或“具有(having)”同义(意思是它们相同)，并且是包含广阔的或开放式的，并且不排除另外的、未引用的元素或方法步骤。术语“组成(consisting)”是封闭的(仅包括确切所述的内容)，且不包括任何另外的、未引用的元素或方法步骤。术语“基本上由...组成(consistingessentiallyof)”将范围限制于指定的材料或步骤以及不会实质性影响基本的和新颖特征的那些材料或步骤。在权利要求和说明书中，对术语“包括(comprising)”(或“包括(including)”或“包含”)的任何引用应当加以必要修改地应用于术语“组成”，并应当加以必要修改地应用于短语“基本上由...组成”。在权利要求和说本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于确定被定位于光敏聚酰亚胺层上的物体的属性的方法，其中，所述光敏聚酰亚胺层被定位于作为辐射反射层的下层上，所述方法包括：通过照明单元用第一紫外线辐射来照射所述光敏聚酰亚胺层的区域；通过第一传感器感测从所述区域反射的第一反射紫外线辐射；以及通过处理器至少部分地基于所述第一反射紫外线辐射来确定所述物体的属性。

【技术特征摘要】
2018.02.05 US 62/626,1741.一种用于确定被定位于光敏聚酰亚胺层上的物体的属性的方法，其中，所述光敏聚酰亚胺层被定位于作为辐射反射层的下层上，所述方法包括：通过照明单元用第一紫外线辐射来照射所述光敏聚酰亚胺层的区域；通过第一传感器感测从所述区域反射的第一反射紫外线辐射；以及通过处理器至少部分地基于所述第一反射紫外线辐射来确定所述物体的属性。2.根据权利要求1所述的方法，包括：用第二辐射照射所述物体；感测从所述物体的不同于所述物体的底部的部分反射的第二反射辐射；以及其中，确定所述物体的属性还至少部分地基于所述第二反射辐射。3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述第二反射辐射是从所述物体的顶部反射的，并且其中，所述物体的属性是所述物体的高度。4.根据权利要求2所述的方法，其中，所述第二辐射是可见光辐射。5.根据权利要求2所述的方法，其中，所述第二辐射是紫外线辐射。6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一紫外线辐射的波长低于400纳米。7.根据权利要求1所述的方法，包括确定是否用所述第一紫外线辐射来照射所述区域；以及仅当确定用所述第一紫外线辐射来照射所述区域时，用所述第一紫外线辐射来照射所述区域。8.根据权利要求7所述的方法，其中，在所述确定之前有以下步骤：用不同于所述第一紫外线辐射的第三辐射照射所述区域；收集来自所述区域的第三反射辐射；和其中，确定是否用所述第一紫外线辐射来照射所述区域至少部分地基于所述第三反射辐射。9.根据权利要求8所述的方法，包括当所述第三反射辐射表现出模糊性时，确定用所述第一紫外线辐射照射所述区域。10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述第三辐射是可见光辐射。11.根据权利要求1所述的方法，其中，用第一紫外线辐射照射所述区域包括：通过紫外线源发射所述第一紫外线辐射；通过被光学耦合到至少一根光纤的光学收集器收集所述第一紫外线辐射；通过所述至少一根光纤并朝向至少一个光学元件传送所述第一紫外...

【专利技术属性】
技术研发人员：Z·本埃泽尔，希蒙·科伦，阿姆农·梅纳赫姆，
申请(专利权)人：康代有限公司，
类型：发明
国别省市：以色列,IL