【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种多晶硅副产物四氯化硅处理设备,尤其是涉及一种由多晶硅副产物四氯化硅生产二氧化硅的处理设备。
技术介绍
近年来,随着硅太阳能电池的发展,多晶硅市场得以迅猛增长。目前国际上采用的多晶硅制备方法均为改良的西门子法,即采用三氯氢硅氢化还原,其副产物主要是四氯化硅,生产1吨多晶硅所产生的副产物四氯化硅大约为12 18吨,因此如何处理副产物四氯化硅已经成为多晶硅工业发展的一大瓶颈。
技术实现思路
本技术的一个目的在于提出一种多晶硅副产物四氯化硅处理设备,利用该处理设备可以循环利用多晶硅副产物四氯化硅,既使用多晶硅副产物四氯化硅生产二氧化硅,提高了循环经济效益,促进了多晶硅生产的发展。根据本技术的多晶硅副产物四氯化硅处理设备,包括反应器,所述反应器内限定有反应腔,所述反应器的上部设有四氯化硅-空气入口和氢气入口,所述反应器的下部设有环氢气进口且所述反应器的底部设有反应器出口 ;收集冷却器,所述收集冷却器内限定有内腔和套在内腔外面且与内腔隔开的冷却介质空间,所述收集冷却器的上部设有与所述内腔连通的冷却器进料口和与所述冷却介质空间连通的冷却介质出口,所述收集冷却器的下部设有 ...
【技术保护点】
1.一种多晶硅副产物四氯化硅处理设备,其特征在于,包括:反应器,所述反应器内限定有反应腔,所述反应器的上部设有四氯化硅-空气入口和氢气入口,所述反应器的下部设有环氢气进口且所述反应器的底部设有反应器出口;收集冷却器,所述收集冷却器内限定有内腔和套在内腔外面且与内腔隔开的冷却介质空间,所述收集冷却器的上部设有与所述内腔连通的冷却器进料口和与所述冷却介质空间连通的冷却介质出口,所述收集冷却器的下部设有与所述内腔连通的冷却器出料口和与所述冷却介质空间连通的冷却介质进口,其中所述收集冷却器位于所述反应器下方以便所述冷却器进料口与所述反应器出口相连;聚集器,所述聚集器具有聚集器入口和 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:严大洲,毋克力,肖荣晖,汤传斌,谢正和,杜俊平,谢冬晖,汪绍芬,郭富东,
申请(专利权)人:中国恩菲工程技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:11
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