蓝光光盘用母盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种蓝光光盘用母盘，其在光刻胶层与基片之间形成有一碳化吸光层，并将光刻胶层形成于碳化吸光层上，因此，在后续的曝光及显影过程中，碳化吸光层能有效减少光线在界面上的反射，增加光刻胶层下表面的光能吸收，进而提高光线的吸收率，来提高光刻胶的感光分辨率，以增加光刻胶底部的曝光宽度，使光刻胶层底部的曝光宽度接近上表面的宽度，增加沟槽斜率，从而提高沟槽密度以满足蓝光光盘的精度要求。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种光盘母盘，尤其涉及一种适用于蓝光光盘用的母盘。
技术介绍
蓝光光盘(Blue-ray Disc，缩写为BD)是一种超大容量的光盘存储技术，随着光盘技术的不断创新，高密度光盘不断涌出，已经提出的一种蓝光光盘，其具有单面单层大约 25GB (Gbytes)的记录容量，或者具有单面双层大约50GB的记录容量；从结构上来讲，单层蓝光光盘具有1. Imm厚度的基片，通过注塑成型工序将母盘(master disc)的凹坑转印到基片的表面上，再在基片上涂覆反射膜，反射膜上还有覆盖层；对于双层蓝光光盘而言，其结构与单层结构类似，其在1. Imm厚的基片上形成用作全反射膜的反射膜，光透射层亦称作中间层，其形成于反射膜上，在光透射层上形成半透明反射膜，并在其上覆盖有覆盖层。制造蓝光光盘时，首先在玻璃基片表面涂覆抗蚀剂，通过激光光束曝光凹坑或沟槽图案，通过显影形成具有相应于抗蚀剂上的凹坑或沟槽的凹坑和凸起部分的盘形母盘， 利用该盘形母盘通过电镀或溅镀形成金属制的母盘，通过将母盘附着于注塑成型工序装置的印模上，并将例如PC等的树脂注入到空腔中，从而形成转印有母盘的凹坑/凸起部分的光盘基片；本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种蓝光光盘用母盘，其特征在于，包括基片、碳化吸光层及光刻胶层，所述碳化吸光层形成于所述基片的一侧面上，所述光刻胶层形成于所述碳化吸光层上，且所述光刻胶层形成凹凸形结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：叶健，刘彤，杨明生，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44