生物感测系统、微感测元件及其制造方法技术方案

本发明专利技术是有关于一种生物感测系统、微感测元件及其制造方法，该微感测元件包含一基板、一微感测结构以及一包覆材料。微感测结构具有多个导电通道设置于基板上，各导电通道包含一感测部、一导电线路及一电极。感测部借由导电线路与电极电性连接。包覆材料包覆基板及导电线路，且各感测部及各电极外露于包覆材料。一种生物感测系统及一种微感测元件的制造方法亦一并揭露。本发明专利技术是以生物相容性的包覆材料完全包覆微感测元件，仅将该些感测部外露于包覆材料作为生物感测之用，及将该些电极外露于包覆材料作为感测信号传递之用。与现有技术相比较，本发明专利技术的微感测元件具有良好的生物相容性，故能够长期植入生物体进行感测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微感测元件及其制造方法，特别是涉及一种借由微机 电制程技术制造的。
技术介绍
微感测元件是一种设计为感测动物神经信号的元件，为现代神经生理 学研究不可或缺的利器。为了使微感测元件能植入活体生物中，以便在动 物清醒状态下观察其学习、行为与神经信号的对应，故需具良好的生物相 容性。 一般所谓的微感测元件并不具生物相容性，须提供额外的生物相容 性材料进行包覆。此包覆材料需包含避免引发不当的副作用与不被生物体 液的盐份侵蚀，并配合不同生物的生理周期以进行长期性的植入。微感测元件为带有导电线路的硅基材，以例如聚-对二曱苯(parylene) 包覆微感测元件，已是微机电制程技术之一。聚-对二曱苯对医用品的抗菌 及抗氧化有保护效果，且已证明具良好的生物相容性。现有技术以聚-对二 曱苯包覆微感测元件，仅能对微感测元件进行单面的包覆处理。然而，单 面包覆处理仍无法将以硅为基材的孩i感测元件作完全包覆，仅包覆单面硅 基板仍有其他表面外露于微感测元件，而会与生物体接触，不适于长期植 入生物体内，故对于生物相容性仍需要改善。为了使以硅为基材的微感测元件能长期植入生物体，研发微感测元件 全本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微感测元件，其特征在于其包含：　一基板；　一微感测结构，具有多个导电通道设置于该基板上，上述各导电通道包含一感测部、一导电线路及一电极，该感测部借由该导电线路与该电极电性连接；以及　一包覆材料，包覆该基板及上述导电线路，且上述各感测部及上述各电极外露于该包覆材料。

【技术特征摘要】
1、一种微感测元件，其特征在于其包含一基板；一微感测结构，具有多个导电通道设置于该基板上，上述各导电通道包含一感测部、一导电线路及一电极，该感测部借由该导电线路与该电极电性连接；以及一包覆材料，包覆该基板及上述导电线路，且上述各感测部及上述各电极外露于该包覆材料。2、 根据权利要求1所述的微感测元件，其特征在于其中上述各感测部、 上述各导电线路及上述各电极的材质为金属或合金。3、 根据权利要求2所述的微感测元件，其特征在于其中该金属或合金 包含金、镍、铬、铱、把、铌、钛或白金。4、 根据权利要求1所述的微感测元件，其特征在于其中上述各感测部、 上述各电极与上述各导电线路一体成型。5、 根据权利要求1所述的微感测元件，其特征在于其中该包覆材料为 高分子材料。6、 一种微感测元件的制造方法，其特征在于其包含以下步骤 提供一基板；形成至少一微感测结构于该基板上，该微感测结构具有多个导电通道， 上述各导电通道包含一感测部、 一导电线路及一电极，该感测部借由该导 电线路与该电极电性连接；借由一包覆材料包覆该基板及上述导电通道；以及部分移除该包覆材料，而使上述各感测部及上述各电极外...

【专利技术属性】
技术研发人员：范矩霖，杨龙杰，鲁本立，林启万，赵福杉，
申请(专利权)人：赵福杉，
类型：发明
国别省市：71[]