【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造领域，特别涉及一种基于MEMS光阀的显示装置及其形成方法。
技术介绍
液晶平板显示器，特别TFT-IXD，是目前在亮度、对比度、功耗、寿命、体积和重量等综合性能方面全面赶上和超过CRT的显示器件，它的性能优良、大规模生产特性好，自动化程度高，原材料成本低廉，发展空间广阔，有可能是下一代显示器的主流产品。 液晶显示装置主要包括基底，在该基底内设有背光源；像素电极，位于所述基底上，基底上还具有TFT(薄膜晶体管开关)阵列，该TFT(薄膜晶体管开关)阵列用于与像素电极电连接，控制像素电极的电位；与像素电极对应的彩色滤光板，以及位于像素电极和彩色滤光板之间的液晶层，并且在彩色滤光板面向液晶层的一面上形成有公共电极层。通过 TFT (薄膜晶体管开关)阵列给像素电极提供电势，使公共电极层和像素电极之间具有电势差，通过该电势差使液晶层中的液晶偏转，根据电势差的大小控制液晶偏转的角度，从而可以控制背光源发出的光透过液晶层发送至彩色滤光板的光的多少。液晶显示装置中，使用的背光源为白光，首先只有成为偏振光才可以通过液晶层，偏振使得光的利用率仅有50%， 当光...
【技术保护点】
１．一种基于ＭＥＭＳ光阀的显示装置，其特征在于，包括：基底；位于所述基底表面的ＭＥＭＳ开关和ＭＥＭＳ光阀，所述ＭＥＭＳ光阀至少包含有固定光栅和相对于固定光栅设置的可动光栅；所述ＭＥＭＳ开关电连接于ＭＥＭＳ光阀，通过ＭＥＭＳ开关施加电信号至ＭＥＭＳ光阀，控制ＭＥＭＳ光阀中可动光栅与固定光栅的相对位置；所述ＭＥＭＳ开关包括：第一电极和第三电极；相对于第一电极和第三电极设置的第二电极，第二电极相对于第三电极具有接触凸起；当第一电极和第二电极具有电位差时，所述第二电极在静电力的作用下向第三电极靠拢，使得所述接触凸起与第三电极接触，以通过ＭＥＭＳ开关控制ＭＥＭＳ光阀。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：毛剑宏，唐德明，
申请(专利权)人：上海丽恒光微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。