下载基于MEMS光阀的显示装置及其形成方法的技术资料

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提供一种基于MEMS光阀的显示装置,包括:基底;基底表面的MEMS开关和MEMS光阀,MEMS开关包括:第一电极和第三电极;相对于第一电极和第三电极设置的第二电极,第二电极相对于第三电极具有接触凸起;当第一电极和第二电极具有电位差时,所述第...
该专利属于上海丽恒光微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海丽恒光微电子科技有限公司授权不得商用。

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