晶舟转换器制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶舟转换器，包含有底座，底座具有承载板，承载板上进一步形成沿第一方向分布的第一定位区与第二定位区，在第一定位区与第二定位区之间形成有预设的间隔部，并有第一阻挡装置设置于承载板上、且位于第二定位区远离间隔部的一端的外缘，而第一阻挡装置的高度大于间隔部的宽度，且第一阻挡装置形成有阻挡面，阻挡面朝向间隔部，第二定位区另包含第二阻挡装置，第二阻挡装置凸设于承载板上，藉此第一、第二阻挡装置可确保操作人员在放置晶舟及取卸晶舟时方向正确，以提升晶圆的安全性。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

晶舟转换器
本技术关于一种晶舟转换器，尤其是指一种具有防呆功能的手动晶舟转换O
技术介绍
一般半导体制程中，晶圆需经过多种机台的加工制程，当晶圆在转换机台或移动时会放在晶舟中以确保晶圆的安全，为了配合各个不同制程所需的机台和制程环境，晶圆常常需使用不同构型的晶舟存放，而当晶圆要在不同晶舟间转换时，会使用晶舟转换器 (Wafer Transfer)来协助晶圆在两晶舟间安全的互换位置。晶舟转换器的使用概念是操作人员先将要转出晶圆的晶舟和要接收晶圆的晶舟依照顺序放置在晶舟转换器上的指定位置，确认两晶舟的位置放置正确后，再利用晶舟转换器上的推移机构，将要转出晶圆的晶舟中的晶圆转移至要接收晶圆的晶舟内，当确认晶圆转移动作完成之后，操作人员再依序将已转出晶圆的晶舟和已接收晶圆的晶舟一一取出。由于晶圆价格高昂，若是在移动过程中有任何损害、刮伤甚至掉落，都会造成巨额的损失，因此为避免晶圆受损的情形发生，除了晶舟及晶舟转换器上设计有多种协助晶圆定位和固定的装置外，操作人员在移动晶圆的相关过程都有明确的作动规范，以确保晶圆的安全。现有的晶舟转换器具有工作台面用以放置晶舟，工作台面上都会设有引导晶舟定位的定位装置，使操作人员放置晶舟时可以依循定位装置作动，而当晶舟正确放置至晶舟转换器的工作台面上指定位置后，晶舟本体会将工作台面上设置的防呆装置下压，进一步连动使得工作台面下的勾型固定部脱离晶圆推移机构的顶持部，使晶圆推移机构可以顺指定方向推行，将晶圆由要转出晶圆的晶舟中转移至要接收晶圆的晶舟内。待移转完成后， 操作人员必须将已转出晶圆的晶舟和已接收晶圆的晶舟分别依规定的顺序及作动姿势取出，顺利取卸后整个移转动作才告完成。而在晶圆移转的全程中操作人员都必须依照指定的顺序及作动姿势进行，虽然现有的晶舟转换器上已具有引导操作人员定位晶舟的定位装置，但在放置晶舟时却没有定位装置协助确认晶舟开口是否面向正确的方向，若是晶舟开口面向的方向有误，即可能在晶圆移转的过程中使晶圆与要接收晶圆的晶舟发生碰撞，进而造成晶圆破片的风险。同时，现有的晶舟转换器在移转晶圆动作完成后，必须要依规定的顺序及作动姿势将晶舟取出，如果操作人员一时不察，将晶舟以错误的拿取姿势取出，则可能使晶舟内的晶圆掉落出晶舟外，因而造成高额损失，所以如何安全且有效率的完成晶圆在晶舟转换器上转换的工作，让操作人员操作时能更便利且降低晶圆破损的风险，以及如何研发可降低晶圆取卸时的人为疏失的晶舟转换器是十分重要的议题。有鉴于此，如何针对上述现有晶舟转换器所存在的缺点进行研发改良，让使用者能够更方便使用且制作成本降到最低，实为相关业界所需努力研发的目标。
技术实现思路
为了解决上述先前技术不尽理想之处，本技术提供了一种晶舟转换器。此种晶舟转换器包含有底座，底座具有承载板、第一定位导轨、第二定位导轨、第一导引装置与第二导引装置，承载板上进一步形成有沿第一方向分布的第一定位区与第二定位区，第一定位导轨沿第一方向设置于第一定位区，而第一导引装置设置于第一定位区的两侧，第二定位导轨沿第一方向设置于第二定位区，而第二导引装置设置于第二定位区的两侧。晶舟转换器又包含有晶圆推杆，晶圆推杆活动地设置于底座、并可沿第一方向自第一定位区移动至第二定位区，其中第一定位区与第二定位区之间形成有预设的间隔部。晶舟转换器还包含有第一阻挡装置，此第一阻挡装置设置于承载板上、且位于第二定位区远离间隔部一端的外缘，而第一阻挡装置的高度大于间隔部的宽度，且第一阻挡装置形成有阻挡面，此阻挡面朝向间隔部，第二定位区进一步包含第二阻挡装置，此第二阻挡装置凸设于承载板上， 且第二阻挡装置的高度大于第二定位导轨的高度。所述的晶舟转换器，其中，第一阻挡装置的高度较佳为间隔部的宽度的1. 2 2. 0倍。所述的晶舟转换器，其中，第一阻挡装置为一对阻挡块。所述的晶舟转换器，其中，第一阻挡装置的阻挡面具有阶梯状构型。所述的晶舟转换器，其中，此对阻挡块为二个相对的L形挡块。所述的晶舟转换器，其中，第二阻挡装置设置靠近于间隔部。所述的晶舟转换器，其中，第一定位导轨与第二定位导轨连接。所述的晶舟转换器，其中，第一定位导轨及第二定位导轨分别在第一定位区与第二定位区设置有第一定位凹沟及第二定位凹沟。所述的晶舟转换器，其中，第一定位区进一步包含第三阻挡装置，第三阻挡装置邻近于间隔部，且凸设于承载板上，第三阻挡装置的高度大于第一定位导轨的高度。所述的晶舟转换器，其中，第二阻挡装置与第三阻挡装置都为凸设于承载板的柱体。因此，本技术的首要目的是提供一种晶舟转换器，此晶舟转换器的承载板上设置有第一阻挡装置，此第一阻挡装置的高度大于间隔部的宽度，且第一阻挡装置形成有阻挡面，阻挡面朝向间隔部，所以藉此第一阻挡装置可确保操作人员在拿取置放于第二定位区的晶舟时，会朝指定方向正确取出，避免取出方向错误导致晶圆掉落损毁，确保操作人员移动晶舟时晶圆的稳定性，并提升晶圆的安全性。本技术次要目的提供一种晶舟转换器，此晶舟转换器的承载板上凸设有第二阻挡装置及第三阻挡装置，且第二阻挡装置的高度大于第二定位导轨的高度，第三阻挡装置的高度大于第一定位导轨的高度，藉此两个阻挡装置可确保操作人员在放置晶舟时能将晶舟开口方向正确置于承载板上的指定方向，避免因晶舟开口面向的方向错误，使晶圆在移转过程中产生碰撞因而造成破片的风险。附图说明图1是根据本技术提出的第一较佳实施例，为一种晶舟转换器立体示意图。图2是根据本技术提出的第一较佳实施例，为一种晶舟转换器与晶舟结合侧视图。图3A是根据本技术提出的第-展开局部上视图。图IBB是根据本技术提出的第-展开局部上视图。-较佳实施例，为一种晶舟转换器与晶舟结合-较佳实施例，为一种晶舟转换器与晶舟结合图。图。图。图4是根据本技术提出的实施例，为一种晶舟于晶舟转换器上错误放置上视图5是根据本技术提出的实施例，为一种晶舟于晶舟转换器上错误放置侧视图6是根据本技术提出的实施例，为一种晶舟转换器与晶舟结合立体示意主要组件符号说明晶舟转换器100晶舟200底座10承载板11第—-定位导轨12第二定位导轨13第—-导引装置14第二导引装置15第—-定位区17第二定位区18晶圆推杆19间隔部20第—-阻挡装置21阻挡面22第二阻挡装置23第—-定位凹沟24第二定位凹沟25第三阻挡装置26顶持部27第—-固定部28第二固定部29第—-防呆装置30第二防呆装置31第—-方向X第二方向Y第—-阻挡装置的ι高度Dl间隔部的宽度D具体实施方式由于本技术揭露一种晶舟转换器，其中所利用的晶舟转换的方式已为相关
具有通常知识者所能明了，故以下文中的说明，不再作完整描述。同时，以下文中所对照的图式，表达与本技术特征有关的结构示意，并未亦不需要依据实际尺寸完整绘制，合先叙明。请参考图1至图2，是根据本技术所提出的第一较佳实施例，为一种晶舟转换器100。此晶舟转换器100包含有底座10，底座10具有承载板11、第一定位导轨12、第二定位导轨13、第一导引装置14与第二导引装置15，而承载板11上进一步形成有沿第一方向X分布的第一定位区17与第二定位区18，此两定位区上都可分别置放晶舟，而第一定位导轨12沿本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种晶舟转换器，其特征在于包含有：一底座（１０），具有一承载板（１１）、一第一定位导轨（１２）、一第二定位导轨（１３）、一第一导引装置（１４）与一第二导引装置（１５），所述承载板（１１）上进一步形成有沿一第一方向（Ｘ）分布的一第一定位区（１７）与一第二定位区（１８），所述第一定位导轨（１２）沿所述第一方向（Ｘ）设置于所述第一定位区（１７），所述第一导引装置（１４）设置于所述第一定位区（１７）的两侧，所述第二定位导轨（１３）沿所述第一方向（Ｘ）设置于所述第二定位区（１８），所述第二导引装置（１５）设置于所述第二定位区（１８）的两侧；以及一晶圆推杆（１９），活动地设置于所述底座（１０）、并可沿所述第一方向（Ｘ）自所述第一定位区（１７）移动至所述第二定位区（１８）；其特征在于：所述第一定位区（１７）与所述第二定位区（１８）之间形成有一预设的间隔部（２０）；一第一阻挡装置（２１），设置于所述承载板（１１）上、且位于所述第二定位区（１８）远离所述间隔部（２０）的一端的外缘，所述第一阻挡装置的高度（Ｄ１）大于所述间隔部的宽度（Ｄ２），且所述第一阻挡装置（２１）形成有一阻挡面（２２），所述阻挡面（２２）朝向所述间隔部（２０）；所述第二定位区（１８）进一步包含一第二阻挡装置（２３），所述第二阻挡装置（２３）凸设于所述承载板（１１）上，且所述第二阻挡装置（２３）的高度大于所述第二定位导轨（１３）的高度。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：田金德，章铭祥，张竣雄，
申请(专利权)人：南茂科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71