【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
1.一种微机电陀螺仪,其包括:主体(6);驱动质量块(7),其根据驱动轴(X)以第一自由度相对于所述主体(6)可移动,以及感应质量块(8),其机械耦合至所述驱动质量块(7)以被带入根据驱动轴(X)的运动中,并且根据感应轴(Y)以第二自由度相对于所述驱动质量块(7)可移动,以响应于所述主体(6)的旋转;驱动装置(3),与所述主体(6)和所述驱动质量块(7)一起形成微机电控制回路(18),并设置成根据所述驱动轴(X)以一驱动频率(ωD)维持所述驱动质量块(7)的振荡;其中驱动装置(3)包括频率检测器模块(25),其连接到微机电控制回路(18)的控制节点(25a),并且配置为提供第一时钟信号(CKN),所述第一时钟信号(CKN)带有与驱动质量块(7)的当前振荡频率相等的频率;其特征在于,所述驱动装置(3)还包括同步级(29),其配置为在第一操作模式中向所述第一时钟信号(CKN)施加校准的相移(),以补偿由布置在所述驱动质量块(7)与所述控制节点(25a)之间的所述微机电控制回路(18)的部件(20,21,22)引起的相移。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:L·普兰迪,C·卡米纳达,A·M·里佐皮雅扎罗恩科罗尼,
申请(专利权)人:意法半导体股份有限公司,
类型:发明
国别省市:IT
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