【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及振动片、振子、角速度传感器等的物理量传感器以及电子设备。
技术介绍
检测旋转角速度的角速度传感器广泛应用于导航系统、各种装置的姿态控制系 统、摄像机或数码相机的防抖装置等。在这些电子设备中，多使用能够小型化的振动片传感ο以往，作为振动片的角速度传感器公知有如下的角速度传感器，该角速度传感器 为振子，该振子具有进行驱动振动的振动单元、和检测通过旋转产生的检测振动的检测单 元，该振子检测Z轴旋转系的角速度，其中该Z轴旋转系形成为多个振动系在相对于旋转轴 Z交叉的规定面内延伸(参照专利文献1)。但是，专利文献1的角速度传感器是能够检测垂直的旋转轴、即Z轴旋转系的振 动分量的传感器，对要求多个检测轴的设备，需要使传感器立起来安装，使传感器器件大型 化。因此，作为检测相对于振子面平行的旋转轴的角速度传感器，公知有如下的角速 度传感器使连接设置在以扭转振动模式绕与旋转轴交叉的扭转中心轴驱动的驱动部上的 检测部进行扭转旋转振动，检测由基于旋转运动的哥氏力产生的检测部的横弯曲振动，并 检测角速度(参照专利文献2)。专利文献日本特开平1H81372号公报日本特开2...
【技术保护点】
１．一种振动片，其特征在于，该振动片具有：驱动梁，其具有以扭转振动模式振动，且相互并列地在第１方向上延伸的第１梁和第２梁；支撑部，其结合所述第１梁及所述第２梁的一端彼此及另一端彼此；以及在平面视图中相对于所述第１方向垂直的第２方向上分别从所述第１梁及所述第２梁延伸出的检测臂，在驱动模式中，所述第１梁及所述第２梁在相反的方向上扭转振动，各个所述检测臂在包含所述第１方向及所述第２方向的平面的法线方向上振动，并且，从所述第１梁延伸出的所述检测臂与从所述第２梁延伸出的所述检测臂在相同的方向上振动，在检测模式中，在绕所述第２方向施加了角速度时，所述检测臂在所述第１方向上振动。
【技术特征摘要】
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