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振动片、振子、物理量传感器以及电子设备制造技术
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文档序号:6691702
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振动片、振子、物理量传感器以及电子设备。本发明的目的是提供一种具有进行扭转振动的振动片的高精度的物理量传感器。作为解决手段,振动片具有:第1驱动梁及第2驱动梁,其以扭转振动模式振动,且相互并列地在X轴方向上延伸;支撑部,其结合第1驱动梁及第...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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