【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学系统，特别是一种对射光束同轴误差的测量装置及其测量方法。
技术介绍
在光学系统中，经常会要求把两束对射的平行光(激光)重合到一起互相耦合进光学或电子元件，例如在半导体激光器注入锁定实验中，需要把注入激光束按照输出激光方向反向耦合进几十微米的半导体增益介质中；在有光纤输出的光学平台上，把自由空间激光耦合到光纤的过程中，需要把耦合光与对射的参考光调节重合。在这样类似的系统中， 两束激光重合程度包括两束光的光轴重合与方向重合(夹角)，往往系统中光束方向重合的要求比光轴重合更重要而且更难做到。传统调整两束激光重合，一般是在两个对射的光源之间插入两面反射镜，通过两面反射镜的二维角度调节实现光束重合。但是在对反射镜做二维角度调整过程中，需要不断监测两束激光的重合程度，通常的做法是在反射镜中间的光路中插入观测屏，如果在光路中的不同位置观测屏上看到的两个光斑都重合，则认为两束激光重合。但是这种方法存在观测剩余误差，即人眼能够分辨的重合度一般在0. 2mm左右，假设此误差成立，那么两束光之间的夹角误差与两次插入观测屏之间距离相关，距离越大，两束光之间的夹角误差...
【技术保护点】
１．一种对射光束同轴误差的测量方法，其特征在于该方法包括下列步骤：①待测的两对射光束分别称为第一光束和第二光束，在所述的两对射光束的光路中插入一块偏振分束棱镜（５），使该偏振分束棱镜（５）的分光面与所述的光束成４５°；②在所述的偏振分束棱镜（５）的第二光束的反射光方向依次设置四分之一波片（４）、角反射器（２）和光强探测器（１），该角反射器（２）置于二维平移调整架（３）上并且该角反射器（２）的斜边与所述的反射光束垂直，而该角反射器（２）的直角顶指向所述的光强探测器（１）；在所述的偏振分束棱镜（５）的第一光束的反射光方向设置观测屏（６）；③调整所述的二维平移调整架（３），通过光...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吕德胜，赵剑波，屈求智，汪斌，刘亮，王育竹，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31
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