一种可降低误差的传感器及其测量方法技术

本发明专利技术公开了一种可降低误差的传感器及其测量方法，传感器结构包括：第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔。测量压力方法：加热电阻通电加热第一基板的空腔，其空腔内空气热胀加压到第二基板膜片；降低加热电阻的加热功率；测量第二基板的膜片上的压力。通过上述步骤，第二基板的膜片可以维持在机械迟滞曲线的卸载线上，能够避免膜片位置的不确定性问题，遏制机械迟滞偏移造成的误差，改善压力传感器的测量精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器
，尤其涉及解决气体压力传感器机械迟滞性误差的结构和方法。
技术介绍
气体压力测量在工业仪表、医疗器具、气压表、高度计、压力开关、充气设备等许多工业设备中应用非常广泛。传统的气压传感器，例如水银气压表、空盒气压表等，其体积大、精度低的缺陷限制了应用范围。随着微机电MEMS技术的发展，MEMS压力传感器的技术也得到了发展和显著提高，传感器体积越来越小，测量精度也得到了很大提高。然而对于测量高精度气压时，压力传感器自身的机械迟滞误差就不能忽视。施加在传递压力的膜片上的压力从高至低降到压力值F时，和压力从低至高升到压力值F时，虽然最终的压力值相同，但由于机械的迟滞性，膜片在相同应力作用下的弯曲挠度是不同的，即传感器的膜片载荷的加载线与卸载线不完全重合。对于压力传感器，由于待测量的压力微小变化趋势是随机的，难以确定测得的电压信号是否对应真实的压力值，这就造成所测量的膜片形变对应的压力与实际的压力有偏差，采集到的压力信号精度不高。
技术实现思路
本专利技术提出一种可降低误差的测量压力的传感器及其测量方法，其目的旨在克服现有技术所存在的上述缺陷，降低由于机械迟滞性造成的误本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可降低误差的传感器，其特征是结构由第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔组成。

【技术特征摘要】
1.一种可降低误差的传感器，其特征是结构由第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔组成。2.如权利要求1所述的可降低误差的传感器，其特征在于第一基板和第二基板连接，第二基板和第三基板连接。3.如权利要求1所述的可降低误差的传感器，其特征在于加热电阻和通孔位于第一基板的膜片上，加热电阻位于通孔两端。4.如权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李维平，刘清惓，黄标，周晓，佘德群，
申请(专利权)人：南京高华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：