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中国科学院上海光学精密机械研究所
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对射光束同轴误差的测量方法技术
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文档序号:6811242
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一种对射光束同轴误差的测量方法,该方法通过一个分束棱镜、二维平移调整器、角反射器、光强探测器和观测屏,可以测量两束对射重合光的重合误差,本发明方法具有设备简单、容易观测,测量方便,对射光束的同轴调整快捷方便、准确可靠的特点。...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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