【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池硅片生产所用的硅片装载装置,特别涉及一种用于太阳能电池硅片扩散工艺的石英舟。
技术介绍
晶体太阳能电池作为新兴的清洁可再生能源,被越来越广泛的应用。在太阳能电池硅片生产过程中扩散工艺是非常关键的,它就是在扩散炉内将P型硅片在扩散后表面变成N型,从而形成P-N结,这样硅片才具有光伏效应,然而必须使用装载硅片装置,因此采用了石英为材料做成的硅片装载装置,即俗称的石英舟。目前普遍使用的石英舟由4根水平挡杆和4根竖直杆构成整个石英舟的装载装置,其中4根水平挡杆上设有硅片凹槽,硅片间隔的插在该硅片凹槽内,4根竖直杆即为整个石英舟的4个支撑脚,且4根竖直杆的下端与石英舟底板烧结成型,在生产中经长期高温后插销易变形和损坏,严重缩短了石英舟的使用寿命。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种用于太阳能电池硅片生产的石英舟。为解决上述技术问题,本专利技术采用如下技术方案一种用于太阳能电池硅片生产的石英舟,其包括水平设置的多根石英棒、设置在多根石英棒上的石英板以及分别竖直设置在石英板两相对侧的第一石英杆和第二石英杆,其中第一石英 ...
【技术保护点】
1.一种用于太阳能电池硅片生产的石英舟,所述的石英舟包括水平设置的多根石英棒(1)、设置在所述多根石英棒(1)上的石英板(2)以及分别竖直设置在所述石英板(2)两相对侧的第一石英杆(3)和第二石英杆(4),所述第一石英杆(3)和第二石英杆(4)沿其长度方向均设有多个用于承载硅片(5)的凹槽(6),其特征在于:所述的石英板(2)上设有插孔(20),所述第一石英杆(3)和第二石英杆(4)插设在所述插孔(20)内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:沈法松,
申请(专利权)人:苏州凯西石英电子有限公司,
类型:发明
国别省市:32
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