本发明专利技术公开一种衬底支撑单元，其包含：静电卡盘单元，其经配置为可移动的并支撑衬底；以及连接部件，其一端连接到静电卡盘单元以向静电卡盘单元供应电力，连接部件经配置以根据静电卡盘单元的移动而灵活地改变形状。连接部件包含：柔性管，其经配置以界定内部空间；以及导电线，其插入至柔性管中且其一端连接到静电卡盘单元。由于导电线插入柔性管中，因此该连接部件的移动性增加。因此，连接到静电卡盘单元的连接部件的形状根据静电卡盘单元的上下移动或旋转而灵活地改变。因此，静电卡盘单元可顺畅地移动。另外，由于连接部件的形状是柔性的，因此可在无位置和区域限制的情况下安装该连接部件。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及衬底支撑单元(substrate supporting unit)和使用所述单元的衬底处理设备，且更特定来说，本专利技术涉及能够容易地移动静电卡盘单元(electrostatic chuck unit)的衬底支撑单元和使用所述单元的衬底处理设备。
技术介绍
一般来说，通过使上部衬底与下部衬底彼此结合来制造平板显示器(flatpanel display)。用于此的衬底结合设备(substrate bonding apparatus)包含供应内部空间的腔室(chamber)、安置于所述腔室中以支撑上部衬底的上部静电卡盘单元、与上部静电卡盘单元连接以向上部静电卡盘单元供应电力的第一电源单元(first power supply unit)、 安置于上部静电卡盘单元的下部部分处以面对上部静电卡盘单元而支撑下部衬底的下部静电卡盘单元，以及与下部静电卡盘单元连接以向下部静电卡盘单元供应电力的第二电源单元。此处，第一和第二电源单元各自包含金属轴(metal shaft)和导电线(conductive line)，所述导电线容纳于所述轴中且通过其一端而连接到静电卡盘单元。第一和第二电源单元的另一端突出到腔室外部且与发电单元(power generation unit)连接，发电单元向第一和第二电源单元施加电力。提供密封部件(sealingmember)以封闭第一和第二电源单元的突出到腔室外部的另一端。为了使用衬底结合设备结合上部衬底与下部衬底，首先降低上部静电卡盘单元， 使得上部衬底与下部衬底彼此接近。接着，在X、Y和θ轴方向上旋转下部静电卡盘单元， 进而使上部衬底与下部衬底对准。进一步降低上部静电卡盘单元以使得上部衬底与下部衬底紧密接触。此处，由于第一和第二电源单元的一端分别与上部静电卡盘单元和下部静电卡盘单元连接，因此当上部静电卡盘向下移动时，第一电源单元一起向下移动。而且，当下部静电卡盘单元旋转时，第二电源单元一起旋转。为此，第一和第二电源单元需要分别根据上部和下部静电卡盘单元的移动而顺畅地移动。然而，突出到腔室外部的第一和第二电源单元被密封部件固定，且因此不容易移动。为解决此问题，已将可收缩且可延伸的金属波纹管(metal bellow)用作封闭第一和第二电源单元的密封部件。然而，由于第一和第二电源单元的轴以及波纹管是由金属制成，因此轴和波纹管的可移动范围受限。因此，上部和下部静电卡盘单元未被第一和第二电源单元以及波纹管顺畅地移动。而且，难以根据波纹管的安装位置和区域来处理金属(波纹管的材料)。也就是说，波纹管的安装位置和区域受限。
技术实现思路
本专利技术提供一种能够容易地移动静电卡盘单元的衬底支撑单元和使用所述单元的衬底处理设备。本专利技术还提供一种衬底支撑单元，其改善向支撑衬底的静电卡盘单元供应电力的连接部件的移动性，以及使用所述单元的衬底处理设备。根据示范性实施例，一种衬底支撑单元包含静电卡盘单元，其经配置为可移动的并支撑衬底；以及连接部件，其一端连接到所述静电卡盘单元以向所述静电卡盘单元供应电力，所述连接部件经配置以根据所述静电卡盘单元的移动而灵活地改变形状，其中所述连接部件包含柔性管，其经配置以界定内部空间；以及导电线，其插入至所述柔性管中且其一端连接到所述静电卡盘单元。所述静电卡盘单元可通过上下移动和旋转中的至少一个而移动。所述柔性管可由绝缘材料制成。所述导电线可由根据所述静电卡盘单元的移动而灵活地改变形状的导电材料制成。所述连接部件可改变形状，使得所述连接部件的两端之间的距离随着所述静电卡盘单元向下移动而增加且随着所述静电卡盘单元向上移动而减小。衬底支撑单元可进一步包含第一固定部件和第二固定部件，其用以通过分别部分地接纳所述连接部件的一端和另一端来固定所述连接部件。根据另一示范性实施例，一种衬底处理设备包含腔室单元，其经配置以界定内部空间；第一台和第二台(table)，其分别可移动地安置于所述腔室单元中以彼此面对且用以支撑衬底；静电卡盘单元，其可移动地安装到所述第一台和所述第二台中的一个或两个以通过静电力来支撑所述衬底；以及连接部件，其安置于所述腔室单元中，使得其一端连接到所述静电卡盘单元以向所述静电卡盘单元供应电力，且使得其形状根据所述静电卡盘单元的移动而灵活地改变，其中所述连接部件包含经配置以界定内部空间的柔性管，和导电线，其插入至所述柔性管中且其一端连接到所述静电卡盘单元。所述第一台和所述第二台可通过上下移动和旋转中的至少一个而移动。所述柔性管可由绝缘材料制成。所述导电线可由根据所述静电卡盘单元的移动而灵活地改变形状的导电材料制成。附图说明从以下结合附图进行的描述可更详细地理解示范性实施例，附图中图1是根据示范性实施例的衬底处理设备的截面图。图2A和图2B是用于阐释根据示范性实施例的连接部件的操作的图。图3是根据示范性实施例的连接部件的第一修改版本的图。图4是根据示范性实施例的连接部件的第二修改版本的图。图5是用于阐释根据示范性实施例的第二电源单元的图。图6A到图6C依序为根据示范性实施例的衬底处理设备的操作的图。具体实施例方式下文中，将参考各附图详细描述具体实施例。然而，本专利技术可以不同形式体现且不应阐释为限于本文陈述的实施例。事实上，提供这些实施例以使得本专利技术将为详尽且完整的，且将把本专利技术的范围完全传达给所属领域的技术人员。相同参考标号在图中始终表示相同元件。图1是根据示范性实施例的衬底处理设备的截面图。图2A和图2B是用于阐释根据示范性实施例的连接部件的操作的图。图3是根据示范性实施例的第一修改版本的连接部件的图，且图4是根据示范性实施例的第二修改版本的连接部件的图。图5是用于阐释根据示范性实施例的第二电源单元的图。根据实施例的衬底处理设备是用以将一对衬底210和220彼此结合的衬底结合设备。如图1所示，此衬底处理设备包含腔室单元100，其界定内部空间；上部衬底支撑单元 300，其包含安置于腔室单元100中以通过静电力来支撑上部衬底210的上部衬底支撑器 (substrate supporter) 310和用以向上部衬底支撑器310供应电力的第一电源320 ；下部衬底支撑单元500，其包含经安置以面对上部衬底支撑器310以通过静电力来支撑下部衬底220的下部衬底支撑器510和用以向下部衬底支撑器510供应电力的第二电源520 ；上部驱动器400，其用以上下移动上部衬底支撑器310 ；以及下部驱动器600，其用以在X、Y和 θ轴方向上旋转下部衬底支撑器510。腔室单元100包含上部腔室110和下部腔室120，其形成空间以执行上部衬底210 与下部衬底220的结合。示范性地，上部腔室110和下部腔室120可分离地彼此连接。虽然未图示，但可向腔室单元100进一步提供压力调整单元(pressure adjusting unit)(未图示)以调整腔室单元100的内部压力。另外，腔室单元100可进一步包含净化单元(purge unit)(未图示)，其从腔室单元100的内部空间排放杂质。虽然腔室单元100在图1中具有矩形管形状，但腔室单元100的形状不限于此且可根据衬底210和220的形状而变化。另外，虽然未图示，但在腔室单元100的一侧处形成入口(entrance)(未图示)以用于上部本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种衬底支撑单元，其包括：静电卡盘单元，其经配置为可移动的并支撑衬底；以及连接部件，其一端连接到所述静电卡盘单元以向所述静电卡盘单元供应电力，所述连接部件经配置以根据所述静电卡盘单元的移动而灵活地改变形状，其特征在于所述连接部件包括：柔性管，其经配置以界定内部空间；以及导电线，其插入至所述柔性管中且其一端连接到所述静电卡盘单元。
【技术特征摘要】
2009.12.30 KR 10-2009-01340891.一种衬底支撑单元，其包括静电卡盘单元，其经配置为可移动的并支撑衬底；以及连接部件，其一端连接到所述静电卡盘单元以向所述静电卡盘单元供应电力，所述连接部件经配置以根据所述静电卡盘单元的移动而灵活地改变形状， 其特征在于所述连接部件包括 柔性管，其经配置以界定内部空间；以及导电线，其插入至所述柔性管中且其一端连接到所述静电卡盘单元。2.根据权利要求1所述的衬底支撑单元，其特征在于所述静电卡盘单元通过上下移动和旋转中的至少一个而移动。3.根据权利要求1所述的衬底支撑单元，其特征在于所述柔性管由绝缘材料制成。4.根据权利要求1所述的衬底支撑单元，其特征在于所述导电线由根据所述静电卡盘单元的移动而灵活地改变形状的导电材料制成。5.根据权利要求1至权利要求4中任一权利要求所述的衬底支撑单元，其特征在于所述连接部件改变形状，使得所述连接部件的两端之间的距离随着所述静电卡盘单元向下移动而增加且随着所述静电卡盘单元向上移动而减小。6...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹靑龙，金容锡，辛在爀，金光寿，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR
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