静电致动器制造技术

实施方式的静电致动器具备：设置在基板(100)上的电极部(2)；与电极部(2)相对而设置的导电性的膜体部(3)；设置于导电性的膜体部(3)的第1周边部(3a)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；以及设置在与第1周边部(3a)相对的第2周边部(3b)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；构成为通过对电极部(2)设定预定值的电压从而电极部(2)与导电性的膜体部(3)接触或者脱离的实施方式的静电致动器，在第1周边部(3a)以及第2周边部(3b)的各个，在多个加载部(4)的各个之间，其刚性相互不同。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施方式涉及静电致动器。
技术介绍
已知有使静电力作用于构成致动器的定子与动子之间、通过其吸引力驱动动子的静电致动器。此外，在MEMS (Micro Electro Mechanical Systems 微机电系统)领域等， 使用所谓半导体工艺(半导体装置的制造技术)开发出了非常小型的静电致动器。此外，在MEMS领域等，已知有利用静电致动器的所谓MEMS开关。在这样的MEMS 开关中，已知如下所述的结构通过多个弹簧要素悬架膜体部，在开关的接通时提供吸合 (pull in)电压，抵抗弹簧要素的弹簧力而将膜体部静电吸引于电极部，在开关的断开时提供释放(pull out)电压，通过弹簧要素的弹簧力使膜体部从电极部脱离。在这里，静电驱动型的MEMS开关，一般吸合电压高，例如为20V (伏特)。因此，在将MEMS开关用于便携电话机等便携系统的情况下，需要升压电路。在此情况下，升压电路的芯片面积大而且消耗电流也多，所以对于便携系统不利。进而，在升压电路中产生的噪音也有可能引起无线电路的误工作。在此情况下，如果减小弹簧要素的刚性，则能够降低吸合电压。但是，如果仅减小弹簧要素的刚性，本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种静电致动器，其特征在于，具备：设置在基板上的电极部；与所述电极部相对而设置的导电性的膜体部；设置于所述导电性的膜体部的第１周边部的、支撑所述膜体部的多个第１加载部；以及设置在与所述第１周边部相对的第２周边部的、支撑所述膜体部的多个第２加载部；并且所述静电致动器构成为，通过对所述电极部设定预定值的电压，所述电极与所述导电性的膜体部接触或者脱离；在所述多个第１加载部的各个之间以及在所述第２加载部的各个之间，其刚性相互不同。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：益永孝幸，山崎宏明，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：JP