密封缺口的工具制造技术

本实用新型专利技术的密封缺口的工具包括密封部件、托举杆、定位部件和设有支撑轴的底座；所述托举杆的顶端与所述密封部件连接；所述定位部件套在所述底座的支撑轴上；所述底座的支撑轴插入所述托举杆的底端，该托举杆的底端支撑在所述定位部件上；改变所述定位部件相对所述底座的支撑轴的位置，支撑所述托举杆上升或下降，从而带动所述密封部件上升或下降。本实用新型专利技术的密封缺口的工具可密封拆卸过滤器后留下的缺口，防止洁净室外的微小尘粒进入洁净室。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及器械设备，尤其涉及一种密封缺口的工具。
技术介绍
一个硅片表面具有多个微芯片，每个芯片有数以百万计的器件和互连线路，它们 对玷污都非常敏感。随着芯片的特征尺寸为适应更高性能和更高集成度的要求而缩小，控 制表面玷污的需要变得越来越关键。为实现玷污控制，所有的硅片制备都要在玷污严格控 制的洁净室内完成。在洁净室的天花板内安装了很多超高效过滤器，超高效过滤器都有一定的使用寿 命，当超高效过滤器的使用时间超过使用寿命时，就需要更换超高效过滤器，这时会带来一 个问题拆卸下超高效过滤器后，洁净室的天花板内会出现一个缺口，洁净室外的微小尘粒 可通过该缺口流进洁净室，从而玷污洁净室，影响硅片制备。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种密封缺口的工具，可密封拆卸过滤器后留下的缺 口，防止洁净室外的微小尘粒进入洁净室。为了达到上述的目的，本技术提供一种密封缺口的工具，包括密封部件、托举 杆、定位部件和设有支撑轴的底座；所述托举杆的顶端与所述密封部件连接；所述定位部 件套在所述底座的支撑轴上；所述底座的支撑轴插入所述托举杆的底端，该托举杆的底端 支撑在所述定位部件上。上述密封缺口的工具，其中，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种密封缺口的工具，其特征在于，包括密封部件、托举杆、定位部件和设有支撑轴的底座；所述托举杆的顶端与所述密封部件连接；所述定位部件套在所述底座的支撑轴上；所述底座的支撑轴插入所述托举杆的底端，该托举杆的底端支撑在所述定位部件上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王世明，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31