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本实用新型的密封缺口的工具包括密封部件、托举杆、定位部件和设有支撑轴的底座；所述托举杆的顶端与所述密封部件连接；所述定位部件套在所述底座的支撑轴上；所述底座的支撑轴插入所述托举杆的底端，该托举杆的底端支撑在所述定位部件上；改变所述定位部件相...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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