【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及纳秒激光加工，特别是一种利用超声波水辅助纳秒激光在玻璃材料中 制备三维微通道的方法及装置，本专利技术适用于在各种玻璃材料内部制备微纳流体器件。
技术介绍
以微管道网络为结构特征的微流控芯片是当前十分活跃的研究领域，在化学分 析、材料合成及细胞培养等领域都得到了应用。玻璃以其稳定的上表面性质、好的透光性及 弱的荧光背景成为普遍使用的微流控芯片材料。目前玻璃芯片的加工主要基于光刻和湿法 腐蚀，即利用光刻技术在牺牲层制作图案窗口，继而使用化学腐蚀溶液进行腐蚀加工。对 于三维立体微通道的制备，还需要一系列诸如层叠和熔接等复杂的步骤。该方法所涉及的 光刻步骤需要昂贵的仪器和超净室以及繁琐的步骤，不利于在普通实验室中推广；而且由 于玻璃属于各向同性材料，通过该方法成型的微通道通常具有较小的深宽比(最大0. 5左 右)，这大大限制了玻璃的应用范围。飞秒激光是一种脉宽极窄(I(T15S)、峰值功率极高的超短脉冲激光。与长脉冲激 光加工相比，飞秒激光加工精度高、热影响区域小，而且还能加工透明材料。利用飞秒激光 微加工技术有望克服上述传统加工技术所面临的各种困难，直接...
【技术保护点】
一种在玻璃材料中制作微通道的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤： ①将待刻写的待加工玻璃材料置于超声波环境中，并使玻璃下表面浸没在洁净的水中，玻璃上表面裸露在空气中； ②将由纳秒激光器发出的激光通过数值孔径ＮＡ为０．２５～０．７的聚焦镜聚焦，聚焦的纳秒激光脉冲垂直待刻写的待加工玻璃材料的上表面入射，纳秒激光脉冲的焦点位于待加工玻璃材料下表面； ③按预先设定的扫描路径从底往上移动由纳秒激光器发出的激光束，直至在玻璃内部直写出三维微通道；所述的纳秒激光的参数为：脉宽５～３０ｎｓ，波长３５５～１０６４ｎｍ，脉冲频率１～１００ＫＨｚ，脉冲能量１～１０ｍＪ。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡志祥，曾晓雁，段军，胡乾午，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：83
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