The utility model discloses a thin glass substrate laser cutting machine, which comprises a machine body, a laser, is characterized in that it also includes beam shaping and focusing servo system, Longmen high-speed two dimensional flotation platform, glass cutting device, pre cooling gas nozzle, cylinder, 90 degree air bearing turntable and vacuum adsorption platform; laser beam shaping and focussing servo system is connected with the X axis platform device is arranged on the Longmen high-speed platform on the two dimensional flotation; glass pre cutting device in the beam shaping and focusing servo system ahead; the cooling gas nozzle through the gas path and cylinder is connected with the beam shaping and focusing servo system for rear; 90 degree air turntable Y axis platform device loading in two dimensions of high speed flotation platform, vacuum adsorption platform is fixed on the 90 degree air turntable. The utility model can greatly improve the yield of the glass substrate, and can be widely applied in the liquid crystal display industry and the glass processing industry.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种激光切割系统,具体涉及到一种应用于超薄玻璃基板(厚度〈l.lmm)切割的激光大幅面高速切割机。
技术介绍
目前应用于液晶显示器和多种平面显示装置的超薄玻璃基板切 割大多采用金刚刀或硬质合金轮的传统机械切割装置,往往会在玻璃 边缘产生不规则的微裂纹,并且不可避免的产生碎屑,影响产品的良 品率,并需要添加清洗,打磨等附加设备,增加加工环节。若是厚度 小于0.7ram的玻璃基片,传统切割则很难切割,成品率极低。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有在切割超薄玻璃基板所用切 断装置的缺点,提供一种能将超薄玻璃基板按要求切割成小矩形尺寸 并具有良好断面效果和边缘应力的高速激光切割机。本技术的技术方案是 一种超薄玻璃基板激光切割机,包括 机体、激光器,其特点是,它还包括光束整形和伺服调焦系统、由X 轴运动平台装置、Y轴运动平台装置组成的龙门式两维气浮高速平台、 玻璃预切装置、冷却气体喷嘴、气瓶、90°气浮转台、负压吸附平台;激光器与光束整形和伺服调焦系统相连接,置于于龙门式两维气 浮高速平台的X轴运动平台装置上;玻璃预切装置位于光束整形和伺 服调焦系统前方;冷却气体喷嘴通过气路与气瓶连接位于光束整形和 伺服调焦系统后方;90°气浮转台装载于两维气浮高速平台的Y轴 运动平台装置上,负压吸附平台固定在90。气浮转台上。所述的光学整形和调焦伺服系统由扩束镜、准直镜、全反镜、整 形透镜组、调焦镜筒组架构成,激光束从扩束镜射入经过准直镜、全 反镜到达Z轴方向的整形透镜组,最终产生椭圆光斑,作为切割机的 热源。所述的X轴运动平台装置包括X轴电机,X轴气浮滑块,X ...
【技术保护点】
一种超薄玻璃基板激光切割机,包括:机体(1);激光器(2);其特征在于,它还包括光束整形和伺服调焦系统(3)、由X轴运动平台装置(4)、Y轴运动平台装置(9)组成的龙门式两维气浮高速平台、玻璃预切装置(5)、冷却气体喷嘴(6)、气瓶(7)、90°气浮转台(8)、负压吸附平台(10);激光器(2)与光束整形和伺服调焦系统(3)相连接,装载于龙门式两维气浮高速平台的X轴运动平台装置(4)上;玻璃预切装置(5)位于光束整形和伺服调焦系统(3)前方;冷却气体喷嘴(6)通过气路与气瓶(7)连接位于光束整形和伺服调焦系统(3)后方;90°气浮转台(8)装载于两维气浮高速平台的Y轴运动平台装置(9)上,负压吸附平台(10)固定在90°气浮转台(8)上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:黄鑫,唐武,叶圣麟,
申请(专利权)人:上海市激光技术研究所,
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]
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