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一种在玻璃材料中制作微通道的方法及装置制造方法及图纸
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下载一种在玻璃材料中制作微通道的方法及装置的技术资料
文档序号:6676077
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本发明公开了一种在玻璃材料中制作微通道的方法及装置,方法为:①将待刻写的待加工玻璃材料置于超声波环境中,并使玻璃下表面浸没在洁净的水中,玻璃上表面裸露在空气中;②将由纳秒激光器发出的激光通过聚焦镜聚焦,聚焦的纳秒激光脉冲垂直待刻写的待加工玻...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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