【技术实现步骤摘要】
本技术涉及涂胶显影机,特别是涉及一种用于涂胶显影机的温湿度控制器及 使用该温湿度控制器的涂胶显影机。
技术介绍
在现有技术中,涂胶显影机台(Track机台)中的温湿度控制器 (Temperaturehumidity cotroller)包括多个制冷片组,如图1、图2、图3所示为其中的1 个制冷片组,它由4个制冷片1串联形成,制冷片的冷热面分别涂散热膏夹于水冷却散热铝 板2和储冷铝板箱外壁3之间,水冷却散热铝板和储冷铝板箱外壁两者通过螺丝固定而成。 温湿度控制器可以共串联6组制冷片组。通过施加给制冷片的电流变化,实现对流经储冷 铝板箱内部、进入主机台“上光阻单元”的空气温/湿度进行高精度控制,避免光阻液内的 化学成分因环境变化而固化不均,发生光阻层厚度异常。但是,由于制冷片老化或修机时机台通断电时间间隔太短等原因,可能会造成处 于制冷片内的部分PN结烧毁而使做为制冷片冷热面的绝缘陶瓷片少量碎裂,而且制冷片 的冷热面所涂的散热膏没有机械强度,在外力压紧时会失去绝缘功能,因此,破坏了制冷片 与铝板之间的绝缘,而所有水冷却散热铝板利用导线串联后与机台电力保护地线(GND ...
【技术保护点】
1.一种用于涂胶显影机的温湿度控制器,包括由多个制冷片串联形成的制冷片组,所述制冷片位于所述涂胶显影机的水冷却散热铝板和储冷铝板箱外壁之间,其特征在于,每个制冷片与所述水冷却散热铝板、所述储冷铝板箱外壁之间具有导热绝缘垫片。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘刚,程光中,刘涛,储著飞,
申请(专利权)人:和舰科技苏州有限公司,
类型:实用新型
国别省市:32
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