本发明专利技术公开了一种节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，包括真空吸附装置，所述真空吸附装置包括吸嘴，所述吸嘴与抽真空装置联通；所述吸嘴可沿水平方向移动地安装；还包括可沿薄膜宽度方向移动的刀具，所述刀具具有一开口，用于割断薄膜。使用本发明专利技术中的节省胶膜的贴膜装置，可以节省胶膜，而且节省了工序，提高了贴膜效率，且还可以提高贴膜品质。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种节省胶膜的贴膜装置。尤其涉及一种在半导体生产领域使用的节 省胶膜的贴膜装置。
技术介绍
以晶圆贴膜为例，如图1所示为一种贴膜装置，包括基座101，基座101中部设置有 用于支撑晶圆的台盘(图中未示出)，晶圆102放在基座101的台盘上。胶膜103卷成空心 圆柱体状，套装在一个可转动的滚筒1031上。滚筒1031放置在基座101的一侧。在滚筒 1031与基座101中间装有一夹子104。夹子104工作原理与日常生活用的夹子相似。在胶 膜103的上方安装有滚轮105，滚轮105与夹子104可同步水平方向移动。滚轮105与夹 子104可沿着导轨移动，水平方向的移动行程使夹子104能够夹持胶膜103使其覆盖基座 101。在开始贴膜时，夹子104闭合夹住胶膜103的边缘，沿着导轨移动，将薄膜103副 盖在晶圆102上，滚轮105下降将胶膜103压在晶圆102和台盘1011上。滚轮105沿着导 轨前后往复移动，按压薄膜103，使胶膜103紧密粘贴在晶圆102上，完成一次贴膜。夹子 104打开，解除对胶膜103的夹持力。夹子104退回至图1所示的贴膜前的位置，夹子104 重新闭合夹住胶膜103，准备下一次贴膜。切割刀106沿胶膜103宽度方向移动，将胶膜103 切断。一次贴膜过程完毕。台盘102必须固定在基座101上，基座101的长度和宽度都大于台盘102的直径。 受制于夹子104的结构，采用图1中的装置贴膜的不足主要在于胶膜103浪费量较大，胶膜 103没有得到完全的利用。如图2所示为图1中的夹子结构示意图及使用原理分析图；夹 子104结构与钳子类似，由2块夹棍(1041，1042)组成。两个夹子104沿胶膜宽度方向分 别夹住胶膜两边缘。夹子104打开时，夹棍向下打开，因此夹子104在基座101正上方时打 开会受到基座101的阻挡，无法顺利打开。如要使夹子104打开后能够顺利回复至图1所 示的基座101右侧，一种情况是如图2所示，胶膜103的宽度必须大于基座101的宽度。这 样，在夹子104回复至开始贴膜前的位置时，胶膜103始终位于夹子104的两个夹棍(1041， 1042)之间。这样贴膜时，被拉出的胶膜103沿长度方向正好覆盖在晶圆边缘即可，胶膜沿 长度方向无浪费，但沿宽度方向浪费较大。第二种情况是，如果胶膜103的宽度小于基座 101的宽度，则即使夹子104打开，由于胶膜103已经贴覆在晶圆102上，在夹子104回复至 开始贴膜前的位置过程中，要么会受到贴附在晶圆102上的胶膜阻挡；要么就会使胶膜103 宽度方向的两侧边缘从夹子104脱离，即使夹子104回复至开始贴膜前的位置，也无法顺利 夹住胶膜103，会影响下一次贴膜。即使不存在这些不利影响，胶膜在宽度方向的浪费少了， 但长度方向，胶膜必须越过晶圆。所以，存在胶膜沿长度方向浪费的情况。使用图1中的贴 膜装置，无论使用哪种方法，都不可避免浪费胶膜。基于以上分析可见，实际需要贴覆的胶膜在长度和宽度方向只要与晶圆直径相同 即可。而以上的贴膜装置和方法，由于夹子104的结构特点，覆盖在晶圆102上的胶膜的长度和宽度必须与基座相匹配，而不是与晶圆直径匹配。这样就势必造成在胶膜长度方向和 宽度方向大于晶圆直径的胶膜无法使用，只能在后续处理程序中切除，浪费量很大，增加了 生产成本。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种可避免浪费的节省胶膜的 贴膜装置。为实现上述目的，本专利技术通过以下技术方案实现节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，包括真空吸附装置，所述真空吸附装置包括吸 嘴，所述吸嘴与抽真空装置联通；所述吸嘴可沿水平方向移动地安装；还包括可沿薄膜宽 度方向移动的刀具，所述刀具具有一开口，用于割断薄膜。优选地是，还包括用于放置晶圆的台盘，所述台盘设置在吸嘴下方，吸嘴的水平方 向移动的行程大小使其能够将薄膜覆盖在台盘上放置的晶圆上。优选地是，所述的台盘设置在基座上。 优选地是，还包括滚轮，所述滚轮可转动地安装于滚轮轴上，滚轮轴可沿水平方向 移动地安装，滚轮轴的移动行程使其能够对覆盖在晶圆上的薄膜施加压力。优选地是，所述滚轮轴可沿竖直方向移动地安装。优选地是，还包括有用于切割薄膜的切割刀。优选地是，所述切割刀可沿薄膜宽度方向移动地安装。优选地是，所述切割刀可沿水平方向与吸嘴同步移动地安装，吸嘴设置于切割刀 与滚轮之间。优选地是，所述吸嘴与滚轮可同步移动地安装或吸嘴、滚轮与切割刀可同步移动 地安装。优选地是，还包括两个间隔设置的机架板，机架板可沿水平方向移动地安装；第一 横杆两端分别连接在一个机架板上；第一横杆上安装有吸嘴，吸嘴与抽真空装置联通；滚 轮可转动地安装于滚轮轴上，滚轮轴两端分别连接在一个机架板上。优选地是，所述的两个机架板平行设置。优选地是，所述的第一横杆可沿竖直方向移动地安装于机架板上。优选地是，所述的机架板上设置有第一气缸，第一气缸设置有输出杆；所述输出杆 与第一横杆相配合驱动第一横杆沿竖直方向移动。优选地是，所述的机架板上设置有第二气缸，第二气缸设置有输出杆，滚轮轴至少 一端与第二气缸的输出杆相配合，第二气缸的输出杆驱动滚轮轴沿竖直方向移动。优选地是，所述机架板上还安装有夹膜装置，所述夹膜装置设置有可允许薄膜穿 过的狭缝，夹膜装置设置在滚轮上方。优选地是，所述的夹膜装置的狭缝大小可调。优选地是，所述的夹膜装置沿薄膜宽度方向可全部夹住薄膜。优选地是，所述的夹膜装置包括固定杆和支撑杆，固定杆与支撑杆之间的间隙为 狭缝；所述支撑杆为圆柱形，固定杆设置有内凹槽与支撑杆相配合；所述机架板上设置有 第三气缸，第三气缸设置有输出杆，支撑杆的端部与第三气缸的输出杆相配合，由第三气缸的输出杆驱动支撑杆靠近或远离固定杆，以调节狭缝的大小。优选地是，所述机架板上还设置有第二横杆，第二横杆上设置有可沿薄膜宽度方 向移动的刀架，刀架下端设置有切割刀。优选地是，所述机架板与丝杆螺纹配合，所述丝杆与电机主轴连接，由电机主轴驱 动丝杆转动。优选地是，还包括导轨，所述的机架板下端设置有导向槽；导向槽与导轨相配合。优选地是，具有一开口的刀具安装在刀架上，所述刀架可沿薄膜宽度方向移动地 安装。优选地是，所述机架板上还设置有第二横杆，刀架可移动地设置在第二横杆上，具 有一开口的刀具安装在刀架上。优选地是，所述的刀具开口大小可调。优选地是，所述的刀具包括第一刀片和第二刀片，所述第一刀片和第二刀片之间 设置有开口，所述第一刀片固定安装在刀架下端，第二刀片通过控制杆移动以调节所述开 口的大小，所述控制杆穿过刀架，一端突出于刀架上端，另一端与第二刀片连接。优选地是，突出于刀架上端的控制杆端部与刀架上端之间设置有弹簧，所述压缩 弹簧在控制杆调节开口大小时会产生使控制杆回复原位的弹性力。本专利技术具有以下有益效果1、解决了夹膜装置在基座正上方无法打开而导致浪费的问题，使得每次贴膜不需 要将膜拉至超过基座位置，在长度上可以节省胶膜。以晶圆减薄贴膜为例说明胶膜节省情况。目前在贴减薄膜时，使用一套多尺寸晶 圆固定设备可以用于固定不同尺寸的晶圆贴膜，如8英寸、6英寸和4英寸的晶圆。晶圆固 定设备采用8英寸台盘依次套装6英寸台盘和4英寸台盘的方式设计，8英寸的台盘安装在 基座的中本文档来自技高网...
【技术保护点】
节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，包括真空吸附装置，所述真空吸附装置包括吸嘴，所述吸嘴与抽真空装置联通；所述吸嘴可沿水平方向移动地安装；还包括可沿薄膜宽度方向移动的刀具，所述刀具具有一开口，用于割断薄膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张明星，
申请(专利权)人：上海技美电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：31
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