本实用新型专利技术提供一种防信号干扰装置及包含该防信号干扰装置的溅射机台，所述防信号干扰装置包括：第一金属壳体，第二金属壳体，所述第一金属壳体构成第一容置空间，用以容置电磁共效马达，所述第一金属壳体与第二金属壳体共同构成第二容置空间，用以容置线缆。通过将电磁共效马达与线缆分别容置于不同的容置空间，使所述电磁共效马达与所述线缆分隔开，有效防止所述线缆与电磁共效马达接触并发生摩擦，可避免产生摩擦损耗。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及集成电路工艺装置，特别涉及一种防信号干扰装置及包含该防信 号干扰装置的溅射机台。
技术介绍
溅射是一种等离子工艺，在溅射过程中，惰性气体离子加速冲向靶，从靶中移出材 料粒子。这些粒子构成蒸气柱，凝结在衬底上。在半导体工艺中，溅射是金属化层淀积的主 要方法。溅射机台是实现溅射工艺的设备，其核心部件有真空系统、射频/直流电源和匹配 网络等。溅射机台的外壳顶部设置有电磁共效马达(magnet rotationmotor)，所述电磁共 效马达为溅射机台提供持续的电磁场能，所述电磁共效马达周围设置有一些线缆。在溅射 机台的日常工作中，所述线缆容易移动到所述电磁共效马达旁边，与电磁共效马达接触并 发生一定的摩擦，从而导致所述线缆的包皮发生磨损，往往会因此而带来射频泄露问题。射 频泄露会产生一些信号干扰事件，由此，溅射机台中一些通过信号控制的部件会受到影响， 其所接收到的信号由于受信号干扰而发生错误，错误的控制信号将导致受控制的部件发生 误操作。在半导体工艺中，曾发生过一些严重的射频泄露事件，由于操作人员不知道已发生 信号干扰问题，正常操作机台，导致待处理晶圆没有受到应有操作步骤的正确处理，发生受 损，造成很大的损失。由此，防止线缆包皮发生摩擦损耗，从而防止射频干扰，成了一个亟待解决的问 题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种防信号干扰装置及包含该防信号干扰装置的溅 射机台，以解决线缆发生摩擦损耗，产生射频干扰的问题。为解决上述技术问题，本技术提供一种防信号干扰装置，所述防信号干扰装 置包括第一金属壳体，第二金属壳体，所述第一金属壳体构成第一容置空间，用以容置电 磁共效马达，所述第一金属壳体与第二金属壳体共同构成第二容置空间，用以容置线缆。可选的，所述第二金属壳体是一个或者数个。可选的，所述第二容置空间设置在所述第一容置空间内。可选的，所述第二容置空间设置在所述第一容置空间外。可选的，所述第一容置空间呈长方体状。可选的，所述第一容置空间呈挖去一角的长方体状。可选的，所述第二容置空间呈长方体状。可选的，所述第二容置空间是水平设置或者竖直设置。可选的，所述第一金属壳体上设置有把手装置。本技术还提供一种溅射机台，所述溅射机台包括外壳以及设置在所述外壳顶部的电磁共效马达，所述电磁共效马达周围设置有线缆，所述溅射机台还包括防信号干扰 装置，所述防信号干扰装置设置在所述外壳顶部，所述防信号干扰装置包括第一金属壳体 以及第二金属壳体，所述第一金属壳体构成第一容置空间，用以容置所述电磁共效马达，所 述第一金属壳体与所述第二金属壳体共同构成第二容置空间，用以容置所述线缆。可选的，所述防信号干扰装置通过铆钉或者支架固定在所述溅射机台的外壳顶 部。本技术提供一种防信号干扰装置，通过所述防信号干扰装置的第一容置空间 容置电磁共效马达，所述第二容置空间容置线缆，将电磁共效马达与线缆分别容置于不同 的容置空间，使所述电磁共效马达与所述线缆分隔开，有效防止了所述线缆与电磁共效马 达接触并发生摩擦，解决了所述线缆包皮发生摩擦损耗，从而产生射频干扰的问题。附图说明图1是本技术实施例一的防信号干扰装置的示意图；图2是本技术实施例二的防信号干扰装置的示意图；图3是本技术实施例三的防信号干扰装置的示意图；图4是本技术实施例四提供的溅射机台的示意图。具体实施方式实施例一请参阅图1，其为本技术实施例一的防信号干扰装置的示意图。如图1所示， 防信号干扰装置1包括第一金属壳体10，第二金属壳体11，所述第一金属壳体10构成第一 容置空间100，用以容置电磁共效马达，所述第一金属壳体10与第二金属壳体11共同构成 第二容置空间110，用以容置线缆。通过将电磁共效马达与线缆分别容置于不同的容置空 间，使所述电磁共效马达与所述线缆分隔开，有效防止所述线缆与电磁共效马达接触并发 生摩擦，避免所述线缆的包皮产生摩擦损耗，解决了射频干扰的问题。请继续参考图1，在本实施例中，所述第二金属壳体11的数量是一个，即所述第二 容置空间110的数量为一个。所述第二容置空间110设置在所述第一容置空间100内，优选的，所述第二容置空 间110竖直设置在所述第一容置空间100内。所述第二容置空间110竖直设置，可方便容 置竖直设置的线缆。在本实施例中，所述第一容置空间100与第二容置空间110均呈长方体状。可以 理解的是，本技术并不局限于此，在本技术其它实施例中，所述第一容置空间100 与第二容置空间110还可以是其它可容纳电磁共效马达与线缆的形状，例如，圆柱形或者 圆锥形。在本实施例中，所述第二容置空间110的截面形状为正方形，所述正方形的边长 为3 km，与所容置的线缆的粗细相匹配，可防止线缆在所述第二容置空间110内移动，解 决了线缆自身移动导致的包皮磨损问题。较佳的，所述第一金属壳体10上还设置有把手装置120，通过该把手装置120，操 作人员能够很方便地移动所述防信号干扰装置1。4实施例二请参阅图2，其为本技术实施例二的防信号干扰装置的示意图。如图2所示， 防信号干扰装置2包括第一金属壳体20，第二金属壳体21，所述第一金属壳体20构成第一 容置空间200，用以容置电磁共效马达，所述第一金属壳体20与第二金属壳体21共同构成 第二容置空间210，用以容置线缆。本实施例与实施例一不同之处在于，本实施例中第二金属壳体21的数量为两个， 从而使所述第二金属壳体21与所述第一金属壳体20构成了两个第二容置空间210，可以方 便的容置多组线缆。然而应当认识到，在本技术其它实施例中，所述第二金属壳体21 的数量可以根据需要设置为更多个，用以容置更多组线缆。本实施例的两个第二容置空间210，一个是水平设置的，另一个是竖直设置的，可 以方便地容置水平设置或者竖直设置的线缆。本实施例的两个第二容置空间210，一个设置于所述第一容置空间200内，另一个 设置于第一容置空间200外。当然，所述第二容置空间210设置于第一容置空间200内还 是设置于第一容置空间200外，可根据需要做适应性改变。实施例三请参阅图3，其为本技术实施例三的防信号干扰装置的示意图。如图3所示， 防信号干扰装置3包括第一金属壳体30，第二金属壳体31，所述第一金属壳体30构成第一 容置空间300，用以容置电磁共效马达，所述第一金属壳体30与第二金属壳体31共同构成 第二容置空间310，用以容置线缆。本实施例与实施例一不同之处在于，所述第一容置空间300呈挖去一角的长方体 状。所述第一容置空间300的形状除能与其容置的电磁共效马达匹配之外，也能更好地与 第一容置空间300外的电磁共效马达的周边环境匹配。在本技术其它实施例中，还可根据第一容置空间内容置的电磁共效马达的形 状，以及该第一容置空间外电磁共效马达的周边环境，将第一容置空间设置为其它形状，以 更好地与电磁共效马达及电磁共效马达的周边环境匹配。实施例四如图4所示，其为本技术实施例四提供的溅射机台的示意图。所述溅射机台 5包括外壳、设置在所述外壳顶部50的电磁共效马达(图4中未示出)、以及防信号干扰 装置3，所述电磁共效马达周围设置有线缆(图4中未示出)，所述防信号干扰装置3固本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种防信号干扰装置，其特征在于，所述防信号干扰装置包括： 第一金属壳体； 第二金属壳体； 所述第一金属壳体构成第一容置空间，用以容置电磁共效马达； 所述第一金属壳体与第二金属壳体共同构成第二容置空间，用以容置线缆。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李广宁，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31
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