本发明专利技术提供一种能够减少不需要的振动模式，从而有效地进行驱动的振动体、振动装置以及电子设备。为此，振动装置的振动体具有：基部；两个振动臂，其以从基部起向Y轴方向延伸、并在与Y轴方向正交的X轴方向上排列的方式而被设置；激励电极，其在各个振动臂上各设置一对，并通过通电而使振动臂振动，其中，在一对激励电极中的至少一个激励电极上，局部地形成有多个在其厚度方向上贯穿的微小的孔，由此，调节了振动臂的振动特性。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种振动体、具有该振动体的振动装置、和具有该振动装置的电子设备。
技术介绍
一直以来，作为被应用于振动装置中的振动体，已知一种具有多个振动臂的音叉型的振动体。例如，在专利文献1所述的振动体中，具有基部、从该基部起以相互平行的方式延伸的两个振动臂、被设置在各个振动臂上的一对激励电极以及一对侧面激励电极。在这种振动体中，基部以及各个振动臂由水晶构成，并通过向一对激励电极和一对侧面激励电极之间施加电场，从而使各个振动臂进行振动。虽然这种振动体的振荡信号，主要含有所需的基波的频率的信号成分，但是除了该成分，也含有高次谐波的频率的信号成分。当振动体的高次谐波(高次振动模式)的 CI (Crystal Impedance 晶体阻抗)值除以基波(基本振动模式)的CI值后所得的数值， 即，CI值比较小时，作为干扰成分的高次谐波的信号成分将增大，从而有可能会在设备中产生异常。因此，在专利文献1所述的振动体中，通过将激励电极的长度设为振动臂的大约一半左右，从而提高CI值比。在先技术文献专利文献1 日本特开2002-280870号公报但是，当将振动体上的激励电极的长度设为振动臂的大约一半左右时，基波的CI 值将增大。因此，在专利文献1所述的振动体中，存在无法有效地进行驱动的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种能够减少不需要的振动模式，从而有效地进行驱动的振动体、具有振动体的振动装置、以及具有振动装置的电子设备。本专利技术是为了解决上述课题中的至少一部分而实施的，其能够作为以下的方式或者应用例而实现。应用例1本应用例的振动体的特征在于，具有基部；多个振动臂，其以从所述基部起向第 1方向延伸、并在与该第1方向正交的第2方向上排列的方式而被设置；一对激励电极，其被设置在各个所述振动臂上，并通过通电而使所述振动臂振动，其中，在一对所述激励电极中的至少一个激励电极上，局部形成有多个在其厚度方向上贯穿的孔。由此，本应用例的振动体，能够在增加振动臂上的激励电极在第1方向(振动臂的延伸方向)上的长度的同时，减小电场的密度，从而对振动臂的振动特性进行调节，其中， 所述电场为，在一对激励电极之间产生的电场(被施加在振动臂上的电场)中，有助于不需要的振动模式的电场。通过如此设定，从而本应用例的振动体能够减少不需要的振动模式，从而有效地进行驱动。应用例2在上述应用例所涉及的振动体中，优选为，多个所述孔以有偏重地分布于所述第1 方向上的方式，而被形成在至少一个所述激励电极上。由此，振动体能够使高次谐波(高次振动模式)的CI值和基波(基本振动模式) 的CI值之间的比率发生变化，从而对振动臂的振动特性进行调节。应用例3在上述应用例所涉及的振动体上，优选为，多个所述孔偏重分布于所述激励电极上的、与所述振动臂的所述第1方向上的中央部对应的部分处。由此，振动体能够降低基波的CI值，并提高高次谐波的CI值，从而提高CI值比 (高次谐波CI值/基波CI值)。应用例4在上述应用例所涉及的振动体中，优选为，所述孔在所述激励电极的单位面积上所占的面积的比例，从所述振动臂的所述第1方向上的所述中央部起朝向顶端一侧逐渐减少。由此，振动体能够圆滑并且有效地进行振动臂的激振，并提高高次谐波的CI值， 从而提高CI值比(高次谐波CI值/基波CI值)。应用例5在上述应用例所涉及的振动体中，优选为，所述孔在所述激励电极的单位面积上所占的面积的比例，从所述振动臂的所述第1方向上的所述中央部起朝向基端一侧逐渐减少。由此，振动体能够圆滑并且有效地进行振动臂的激振，并提高高次谐波的CI值， 从而提高CI值比(高次谐波CI值/基波CI值)。应用例6在上述应用例所涉及的振动体上，优选为，当将所述振动臂在所述第1方向上的长度设为Li，将所述振动臂上的所述激励电极在相同方向上的长度设为L2时，满足0. 5 < L2/L1 < 1的关系。由此，振动体能够降低基波的CI值，从而有效地进行振动臂的激振。应用例7在上述应用例所涉及的振动体中，优选为，各个所述孔在俯视观察时呈圆形。由此，振动体能够比较简单地将振动臂调节为所需的振动特性。应用例8在上述应用例所涉及的振动体中，优选为，多个所述孔的平均直径为0. 01 100 μ m0由此，振动体能够在比较容易地进行多个孔的形成的同时，将振动臂调节为所需的振动特性。应用例9在上述应用例所涉及的振动体中，优选为，各个所述孔在俯视观察时呈狭缝状。由此，振动体能够比较简单地将振动臂调节为所需的振动特性。应用例10在上述应用例所涉及的振动体中，优选为，所述狭缝状的各个所述孔在所述第2 方向上延伸。由此，振动体能够比较简单地将振动臂调节为所需的振动特性。应用例11在上述应用例所涉及的振动体中，优选为，所述狭缝状的所述孔的宽度为0. 01 100 μ m0由此，振动体能够在比较容易地进行多个孔的形成的同时，将振动臂调节为所需的振动特性。应用例12本应用例的振动体的特征在于，具有基部；多个振动臂，其以从所述基部起向第 1方向延伸、并在与该第1方向正交的第2方向上排列的方式而被设置；压电体元件，其被设置在各个所述振动臂上，并通过通电而进行伸缩以使所述振动臂振动；其中，所述压电体元件具有第1电极层、第2电极层、和位于所述第1电极层以及所述第2电极层之间的压电体层，在所述第1电极层、所述压电体层以及所述第2电极层中的至少一个层上，局部形成有多个在其厚度方向上贯穿的孔。由此，本应用例的振动体，能够在增加振动臂上的压电体元件在第1方向上的长度的同时，减小电场的密度，从而对振动臂的振动特性进行调节，其中，所述电场为，在第1 电极层和第2电极层之间产生的电场(被施加在压电体层上的电场)中，有助于不需要的振动模式的电场。由此，振动体能够减少不需要的振动模式，从而有效地进行驱动。应用例13在上述应用例所涉及的振动体中，优选为，所述振动臂为三个以上，并且通过所述压电元件的伸缩，从而相邻的两个所述振动臂在与所述第1方向以及所述第2方向正交的第3方向上，向相反的方向弯曲振动。由此，振动体能够在防止振动泄漏的同时，使三个以上的振动臂在第3方向上进行弯曲振动。应用例14本应用例的振动装置，其特征在于，具有上述应用例中任意一个振动体；用于收纳所述振动体的外壳。由此，振动装置能够通过振动体减少不需要的振动模式，从而有效地进行驱动。应用例15本应用例的振动装置的特征在于，具有上述应用例中任意一个振动体；与所述振动体电连接的电路部；用于收纳所述振动体以及所述电路部的外壳。由此，由于振动装置具有减少不需要的振动模式的振动体、和电路部，从而可具有优秀的振荡特性。应用例16本应用例的电子设备的特征在于，具有上述应用例的振动装置。由此，本应用例的电子设备能够减少不需要的振动模式，从而有效地进行驱动，并由此能够实现较高的可靠性。附图说明图1为表示本专利技术的第1实施方式所涉及的振动装置的剖视图。图2为表示图1所示的振动装置中所具有的振动体的俯视图。图3为沿图2中的A-A线的剖视图。图4(a)为，表示图2所示的振动体的振动臂在延伸方向(Y轴方向)上的位置、与该振动臂的基本振动模式的位移量以及形变之间的关系的图表；图4(b)为，表示图2所示的振动体的振动臂在延伸方向(Y轴方向)上的位本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种振动体，其特征在于，具有：基部；多个振动臂，其以从所述基部起向第１方向延伸、并在与该第１方向正交的第２方向上排列的方式而被设置；一对激励电极，其被设置在各个所述振动臂上，并通过通电而使所述振动臂振动，其中，在一对所述激励电极中的至少一个激励电极上，局部形成有多个在其厚度方向上贯穿的孔。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：山崎隆，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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