【技术实现步骤摘要】
本技术涉及芯片制造加工领域， 特别的涉及一种用于芯片清洗的二氧化碳离子水的制备装置。
技术介绍
在芯片制造设备中，为防止静电对被加工的芯片产生破坏，需要对去离子水进行离子化处理，以消除静电。在常温下，二氧化碳可部分溶解于去离子水中产生氢离子和碳酸根离子形成离子水。由于该离子水干燥后，其中的离子变为二氧化碳后挥发掉，在被处理的芯片上不会残留任何杂质。因此二氧化碳离子水被广泛应用到芯片制造的各个工艺步骤中。由于芯片制造对离子水的纯度要求十分严格，因此在离子水制备过程中不得使用机械手段来促使二氧化碳在水中的溶解。目前制备二氧化碳离子水的方法是，二氧化碳气体通过进气管经电磁阀与通过进液管内去离子水在三通管内进行混合，再经过一段较长的混合管道使二氧化碳气体溶解在水中形成离子水，然后通过电导率探头检测离子水的电导率， 即检测水中的离子浓度，并将该电导率反馈到一个控制器内，控制器根据检测信号调整电磁阀的通断频率以调整二氧化碳的进气量，从而达到控制制成的离子水的离子浓度，上述离子水的制备方法主要存在以下不足1、二氧化碳气体不能充分溶解。二氧化碳气体和去离子水是在三通中混流后再经...
【技术保护点】
１．一种二氧化碳离子水发泡机，包括机械机构部分和液路部分，上述机械结构部分主要包括机箱（１），机箱内设二氧化碳（ＣＯ２）钢瓶（２），机箱上半部设有操作面板，操作面板上具有液晶显示屏（４）和二氧化碳含量调节旋钮（５），机箱顶部设有报警器（３），其特征在于：上述液路部分包括去离子水（ＤＩＷ）进水管（１０）、二氧化碳进气管（１１）、夹气膜混合筒和用来检测所获得的离子水二氧化碳含量的电导率探头（１６），上述去离子水进水管与夹气膜混合筒的一个进口端连接，二氧化碳进气管通过压力调节阀（１８）与夹气膜混合筒的另一个进口端连接，上述电导率探头安装在夹气膜混合筒的出水端。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：金海涛，徐飞，吉保国，邬治国，
申请(专利权)人：常州瑞择微电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32
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