输出装置及测试装置制造方法及图纸

技术编号:6610996 阅读:261 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种输出装置,可高精度地输出信号。其设置有:多个电流源;多个切换部,其根据输入数据切换是否使输出端输出对应的电流源中的电流;多个保持部,其与多个电流源中的每一个对应设置,保指定对应的电流源中的电流的指定电压;设定用DAC,其依次产生多个保持部各自应保持的指定电压并保持之;供给部,其通过依次切换把设定用DAC依次产生的指定电压提供给多个保持部中对应的保持部。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及输出装置及测试装置
技术介绍
众所周知,电流输出型的DA变换装置设置有并联连接在输出端上的多个电流源, 其根据输入的数据切换连接在输出端上的电流源。由于此种DA变换装置是通过电流的通断切换输出电流的,因而可实现高速响应。专利文献1 日本国专利公报H07-147541号专利文献2 美国专利第6473015号说明书专利文献3 美国专利第5021784号说明书然而,这种DA变换装置难以高精度地设定多个电流源各自的电流量,其结果是难以使之高精度地动作。此外,也可考虑通过在这类DA变换装置中内置AD变换器,实施多个电源的校准,但这样一来电路构成必然变大。
技术实现思路
为了解决上述问题,本专利技术的第1实施方式提供一种输出装置以及具有这样的输出装置的测试装置,输出装置包括多个电流源;多个保持部,其与前述多个电流源分别对应设置,保持指定对应的电流源输出的电流的指定电压;设定用DAC,其依次产生前述多个保持部各自应保持的前述指定电压;供给部,其将前述设定用DAC依次产生的前述指定电压依次进行切换并提供给前述多个保持部中对应的保持部。上述专利技术概要并未列举本专利技术的全部必要特征。而这些特征群的次级组合也可构成专利技术。附图说明图1是本专利技术的实施方式涉及的DA变换装置10的构成。图2是本专利技术的实施方式涉及的DA变换装置10的处理流程。图3是图2的步骤Sll的详细处理流程。图4是图2的步骤S12的详细处理流程。图5是本实施方式涉及的设定用DAC30、控制部40、一个保持部M以及一个传送开关42。图6是在给保持部M提供指定电压的情况中,传送开关42的切换定时以及各节点的电压波形的一例。图7是本实施方式涉及的设定用DAC30的构成一例。图8是本实施方式涉及的设定用DAC30以及多个传送开关42的连接例。图9是控制部40给本实施方式涉及的多个保持部M提供指定电压时的处理流程的一例。图10是本实施方式的第1变形例涉及的DA变换装置10的构成。图11是本实施方式的第2变形例涉及的DA变换装置10的构成的一部分。图12是与被测试器件300 —并示出的本专利技术的实施方式涉及的测试装置200的构成。具体实施例方式下面通过实施方式说明本专利技术,但以下的实施方式并不限定权利要求范围涉及的专利技术。此外,实施方式中说明的全部特征组合未必是专利技术的解决手段所必须的。图1是本实施方式涉及的DA变换装置10的构成。本实施方式涉及的DA变换装置10把与从外部接收到的数据对应的电流提供给第1输出端12。DA变换装置10针对第 1输出端12中的电流,把以公共电流为中心反转的电流提供给第2输出端14。在本实施方式中,第1输出端12可经第1电阻16与第1基准电位(例如电源电位)相连接。此外,第2输出端14可经第2电阻18与第1基准电位(例如电源电位)相连接。本实施方式涉及的DA变换装置10通过将与输入数据对应的电流提供给第1输出端 12以及第2输出端14,得以从第1输出端12及第2输出端14分别输出与输入数据对应的输出电压。而第1电阻16及第2电阻18即可设置在该DA变换装置10的内部,也可在DA 变换装置10的外部连接。DA变换装置10设置有多个电流源22、多个保持部24、多个切换部26、设定用 DAC30、供给部32、比较器;34、测定用开关36、DAC用开关38、控制器40。多个电流源22中的每一个分别是给电流设定端提供与施加的指定电压对应的电流的恒定电源。多个电流源22中的每一个,例如一端与第2基准电位(例如接地电位)连接,另一端经对应的切换部沈与第1输出端12或第2输出端14连接。多个电流源22中的每一个例如与输入数据的各个比特对应设置,提供与对应的比特权重对应的电流。此种多个电流源22中的每一个从与最低位对应的电流源起依次提供乘以2的整数指数幂而变大的电流。多个电流源22中的每一个也可具有彼此相同的电路。在此情况下,多个电流源22例如可分别按照乘以2的整数指数幂提供不同的指定电压。多个保持部M各自与多个电流源22中的每一个对应设置。而且,多个保持部M 分别保持指定对应的电流源22中的电流的指定电压。在本实施方式中,多个保持部M分别是设定在对应的电流源22的电流设定端和基准电位间的电容器。多个保持部M分别通过设定用DAC30充入适当的指定电压。并且多个保持部M中的每一个把保持的指定电压施加给对应的电流源22的电流设定端。多个切换部沈分别与多个电流源22分别对应设置。多个切换部沈中的每一个根据输入数据切换对应的电流源22中的电流并提供给第1输出端12或第2输出端14。例如,多个切换部26中的每一个,如果输入数据中对应的比特数是1,则把对应的电流源22中的电流提供给第1输出端12,如果输入数据中对应的比特数是0,则把对应的电流源22中的电流提供给第2输出端14。设定用DAC30在该DA变换装置10的电流输出动作之前以及电流输出动作期间适当地依次产生多个保持部M各自应保持的指定电压。设定用DAC30例如可以是电荷再分5配型DAC。关于设定用DAC的构成例的情况将在后文中详述。供给部32依次切换设定用DAC依次产生的指定电压,并提供给多个保持部M中对应的保持部对。供给部32例如具有多个传送开关42。多个传送开关42与多个电流源22各个对应设置。多个传送开关42分别设定在设定用DAC30的电压发生端和对应的电流源22之间。并且多个传送开关42在给某个保持部M提供指定电压的情况下,使之产生应指定对应的电流源22的指定电压的设定用DAC30 的电压发生端和对应的电流源22的电流设定端之间导通,切断设定用DAC30的电压发生端和其它电流源22的电流设定端之间的连接。此处,当设定用DAC30是电荷再分配型的情况下,多个传送开关42中的每一个通过反复接通及切断设定用DAC30的电压发生端和对应的电流源22的电流设定端之间的连接,即可把设定用DAC30产生的指定电压充入保持部M,使保持部M的电压逐渐接近指定电压。这样一来,多个传送开关42中的每一个可把设定用DAC30产生的指定电压提供给保持部M。关于利用电荷再分配型的设定用DAC使多个保持部M保持指定电压的处理例将在后文中详述。电容器34在校准时比较设定用DAC30产生的电压和第1输出端12的电压的大小。 电容器34还可改为对设定用DAC30产生的电压和第2输出端14的电压的大小进行比较。测定用开关36设置在比较器34 —方的输入端和第1输出端12之间。测定用开关36在校准时接通比较器34 —方的输入端和第1输出端12,在电流输出动作时间中,切断比较器34 —方的输入端和第1输出端12。在比较器34比较设定用DAC30产生的电压和第 2输出端14的电压的大小时,测定用开关36设置在比较器34 —方的输入端和第2输出端 14之间。DAC用开关38设置在比较器34中的第1输出端12为被连接一侧的另一输入端和设定用DAC30电压产生端之间。DAC用开关38校准时接通比较器34的另一输入端和设定用DAC30的电压产生端,电流输出动作时切断比较器34的另一输入端和设定用DAC30的电压产生端。控制部40在校准时间中,根据设定用DAC30产生的电压和与电流源22中输出的电流相对应的电压的比较结果。调整从设定用DAC30提供给多本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种输出装置,其特征在于包括:多个电流源;多个保持部,其与前述多个电流源分别对应设置,保持指定对应的电流源中的电流的指定电压;设定用DAC,其依次产生前述多个保持部各自应保持的前述指定电压;供给部,其依次切换前述设定用DAC依次产生的前述指定电压并提供给前述多个保持部中对应的保持部。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:仓持泰秀
申请(专利权)人:爱德万测试株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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