电子显微镜的第二聚光镜制造技术

本发明专利技术公开一种电子显微镜的第二聚光镜，属电子显微镜领域。包括：外壳为两端开口的圆环柱形空腔，下盖板盖住外壳的下端开口，磁环外面套装磁路线圈，两者均设置在外壳内，磁路线圈下面设有水套隔圈组件，水套隔圈组件下面为下盖板，下盖板、磁环、水套隔圈组件的中间部位均设有通孔，三者通孔相连通，连通后的通孔内从上至下依次设置垫圈和极靴组件；垫圈、极靴组件内均设有通孔，两者通孔相互连通，连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件和消象散组件。该第二聚光镜可将第一聚光镜缩小的电子枪交叉点的束斑进行适当放大，从而改变电子束斑的大小，实现针对不同样品可提供不同的束斑大小，提高电子显微镜的性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子显微镜
，尤其涉及一种电子显微镜的第二聚光镜。
技术介绍
电子显微镜是一种可以观察微小物质的重要仪器，可以观察0. 25nm以下的物质。 电子显微镜以电子束作为照明光源，以磁透镜或静电透镜作为偏转电子的装置，实现光学放大。电子显微镜在物理、化学、材料、科学研究、生命科学、地质、探矿、机械工业、电子工业等军民领域具有非常广泛的应用前景。电子显微镜通过电子束照射在样品上，实现对样品的观察，电子枪和聚光镜是电子显微镜的照明系统。电子显微镜要求聚光镜能提供最大亮度的电子束，照射在样品上的电子束孔径角必须能在一定范围内调节，照明斑点的大小可按需要选择。聚光镜是以电子枪的交叉点作为成像物体而成像到样品上，一般认为电子枪交叉点的尺寸为几十微米。为了保持一定高度并把电子束斑对样品加热的影响限制在最低，要求样品处的束斑为几个微米，对此，聚光镜必须把电子束斑缩小。对于高性能的电镜，对不同的样品应提供不同的束斑大小，而早期的电子显微镜中，一般设置单聚光镜，只能提供一个固定的束斑直径，无法改变电子束斑大小，不能实现针对不同样品提供不同的束斑大小。
技术实现思路
本专利技术实施方式的目的是提供一种电子显微镜的第二聚光镜，可用在电子显微镜中，将第一聚光镜缩小的电子枪交叉点的束斑进行适当放大，从而可改变束斑大小，实现针对不同样品可提供不同的束斑大小，从而提高电子显微镜的性能。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的本专利技术实施方式提供一种电子显微镜的第二聚光镜，包括外壳、下盖板、磁环、磁路线圈、水套隔圈组件、垫圈、极靴组件、固定光阑组件和消象散组件；所述外壳为两端开口的圆环柱形空腔，下盖板设置在所述外壳的下端开口处，与所述外壳固定连接，盖住所述外壳的下端开口，下盖板中间部位设有通孔；所述磁环外面套装磁路线圈，所述磁环和其外面套装的磁路线圈均设置在所述外壳内，所述磁环的中间部位设有通孔；所述水套隔圈组件设置在所述外壳内，设置在所述磁路线圈的下面，水套隔圈组件的下面为所述下盖板，与所述下盖板固定连接，所述水套隔圈组件的中间部位也设有通孔；所述下盖板、水套隔圈组件和磁环的通孔相连通，连通后的通孔内从上至下依次设置垫圈和极靴组件，所述垫圈和极靴组件内均设有通孔；所述垫圈和极靴组件的通孔均相互连通，连通后的通孔内依次设置固定光阑组件和消象散组件。由上述本专利技术实施方式提供的技术方案可以看出，本专利技术实施方式中通过外壳、 下盖板、磁环、磁路线圈、水套隔圈组件、垫圈、极靴组件、固定光阑组件和消象散组件有机配合形成了第二聚光镜，环绕在磁路线圈周围的外壳、下盖板和磁环，能汇集磁力线，当线圈流过激磁电流后，由于磁感应使磁场增强，从而电子透镜的作用变强，该第二聚光镜具有结构简单，安装、操作方便，零部件较少，体积小，便于装配和维修的优点。用于电子显微镜中能将第一聚光镜缩小的电子枪交叉点的束斑进行适当放大，实现针对不同样品可提供不同的束斑大小的功能，有效提高电子显微镜的性能。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。图1为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的正视结构示意图；图3为图2的A-A向剖面结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的磁环的结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的磁环的正视结构示意图；图6为图5的B-B向剖面结构示意图；图7为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的磁路线圈的结构示意图；图8为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的磁路线圈的线圈框结构示意图；图9为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的水套隔圈组件的结构示意图；图10为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的垫圈的结构示意图；图11为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的极靴组件的结构示意图；图12为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的极靴组件的剖面结构示意图；图13为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的固定光阑组件的结构示意图；图14为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的固定光阑组件的剖面结构示意图；图15为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的消象散组件的结构示意图；图16为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的消象散组件的正向结构示意图；图17为图16的C-C向剖面结构示意图；图18为本专利技术实施例提供的第二聚光镜的消象散组件的消象散线圈结构示意图；图中各标号为1-外壳；2-磁环；21-盖体；22-中空环形柱体；23-磁环的通孔； 24-密封圈环槽；241-密封圈；3-下盖板；4-水套隔圈组件；41-水套本体；42-水套隔圈组件的通孔；43-进出水孔；44-可动光阑安装孔；5-磁路线圈；51-线圈框；511-上挡板； 512-下挡板；513-环形立柱；514-线圈框的环槽；6-消象散组件；61-连接板；62-套管； 63-密封圈；64-套管的通孔；65-密封圈二 ；66-消象散线圈；67-密封圈三；661-管状内芯；662-板式线圈框；663-线圈包；7-垫圈；71-垫圈的通孔；8-上极靴；81-上极靴的通孔；9-隔圈；10-下极靴；11-固定光阑组件；111-固定光阑座；112-压紧螺帽；113-固定光5阑片；114-固定光阑组件的通孔；115-垫圈二。 具体实施例方式下面结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术的保护范围。下面将结合附图对本专利技术实施例作进一步地详细描述。本实施例提供一种电子显微镜的第二聚光镜，可用在电子显微镜中，设置在第一聚光镜下方，如图1 3所示，该第二聚光镜包括外壳1、磁环2、磁路线圈5、水套隔圈组件4、下盖板3、垫圈7、极靴组件、固定光阑组件11和消象散组件6 ；其中，外壳1为两端开口的圆环柱形空腔，下盖板3设置在外壳1的下端开口处， 与外壳1固定连接，盖住外壳1的下端开口，下盖板3的中间部位设有通孔；磁环2外面套装磁路线圈5，磁环2和其外面套装的磁路线圈5均设置在外壳1内，磁环2的中间部位设有通孔；水套隔圈组件4也设置在所述外壳1内，设置在磁路线圈5的下面，水套隔圈组件 4的下面为下盖板3，与所述下盖板3固定连接，水套隔圈组件4的中间部位也设有通孔；下盖板3、磁环2与水套隔圈组件4三者的通孔相连通，连通后的通孔内从上至下依次设置垫圈7和由上极靴8、隔圈9和下极靴10依次连接构成的极靴组件；垫圈7和极靴组件内均设有通孔，垫圈7和极靴组件内的通孔相互连通，连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件11和消象散组件6，具体是垫圈7和极靴组件的上极靴8的连通后的通孔内设置固定光阑组件11，而极靴组件的下极靴10的通孔内设置消象散组件6。 上述第二聚光镜中的磁路线圈周围的外壳1、下盖板3和磁环2均是采用软磁材料制成，具有汇集磁力线的特性，当线圈流过激磁电流后，由于磁感应而使磁场增强，电子透镜的作用变强；极靴组件中的上极靴8、下极靴10也是采用软磁材料制成，并且本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种电子显微镜的第二聚光镜，其特征在于，包括：外壳、下盖板、磁环、磁路线圈、水套隔圈组件、垫圈、极靴组件、固定光阑组件和消象散组件；所述外壳为两端开口的圆环柱形空腔，下盖板设置在所述外壳的下端开口处，与所述外壳固定连接，盖住所述外壳的下端开口，下盖板中间部位设有通孔；所述磁环外面套装磁路线圈，所述磁环和其外面套装的磁路线圈均设置在所述外壳内，所述磁环的中间部位设有通孔；所述水套隔圈组件设置在所述外壳内，设置在所述磁路线圈的下面，水套隔圈组件的下面为所述下盖板，与所述下盖板固定连接，所述水套隔圈组件的中间部位也设有通孔；所述下盖板、水套隔圈组件和磁环的通孔相连通，连通后的通孔内从上至下依次设置垫圈和极靴组件，所述垫圈和极靴组件内均设有通孔；所述垫圈和极靴组件的通孔均相互连通，连通后的通孔内依次设置固定光阑组件和消象散组件。

【技术特征摘要】
1.一种电子显微镜的第二聚光镜，其特征在于，包括外壳、下盖板、磁环、磁路线圈、水套隔圈组件、垫圈、极靴组件、固定光阑组件和消象散组件；所述外壳为两端开口的圆环柱形空腔，下盖板设置在所述外壳的下端开口处，与所述外壳固定连接，盖住所述外壳的下端开口，下盖板中间部位设有通孔；所述磁环外面套装磁路线圈，所述磁环和其外面套装的磁路线圈均设置在所述外壳内，所述磁环的中间部位设有通孔；所述水套隔圈组件设置在所述外壳内，设置在所述磁路线圈的下面，水套隔圈组件的下面为所述下盖板，与所述下盖板固定连接，所述水套隔圈组件的中间部位也设有通孔；所述下盖板、水套隔圈组件和磁环的通孔相连通，连通后的通孔内从上至下依次设置垫圈和极靴组件，所述垫圈和极靴组件内均设有通孔；所述垫圈和极靴组件的通孔均相互连通，连通后的通孔内依次设置固定光阑组件和消象散组件。2.根据权利要求1所述的电子显微镜的第二聚光镜，其特征在于，所述磁环包括盖体和中空环形柱体；盖体为圆形，其中心部位设置中空环形柱体，中空环形柱体的长度大于所述盖体的厚度，所述盖体设置在所述中空环形柱体的中间部位，中空环形柱体下端设有密封圈环槽，密封圈环槽内设有密封圈。3.根据权利要求1所述的电子显微镜的第二聚光镜，其特征在于，所述外壳、下盖板和磁环均采用软磁材料制成。4.根据权利要求1所述的电子显微镜的第二聚光镜，其特征在于，所述磁路线圈为圆环柱形，是由漆包线缠绕在线圈框上绕制而成的线圈；所述线圈框为由上、下挡板和环形立柱构成的带有环槽的结构体，所述漆包线绕制在线圈框的上、下挡板之间的环槽内。5.根据权利要求1所述的电子显微镜的第二聚光镜，其特征在于，所述水套隔圈组件包括水套本体、水套隔圈和水套隔板；所述水套本体为环形槽结构，环形槽的中空部位设有连接磁环的环形凹台，水套本体的环形槽侧壁上分别设有进水孔和出水孔，在...

【专利技术属性】
技术研发人员：董全林，姚骏恩，张春熹，张秀艳，孟凡念，崔永俊，迟悦，袁水平，杨彦杰，于成交，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：11