电子显微镜及测量散焦散布或极限分辨率的方法技术

本发明专利技术涉及电子显微镜和测量电子显微镜的散焦散布或极限分辨率的方法。它利用这样的情况：在倾斜照射下，电子显微镜的可能存在的像差和散焦散布会使衍射图中的强度分布发生依赖于方向的改变。特别是，衍射图的包络会依赖于方向地变窄。如果电子束的倾斜和可能存在的像差这二者均为已知，则假设为高斯焦点分布，则该电子显微镜的散焦散布就成为影响强度分布中依赖于方向的变化的唯一的未知参数。从这些变化可得出关于该散焦散布的定量结果。根据这种依赖于方向的变窄，还能够在没有任何模型和关于其形式的先验假设的条件下确定焦点分布。因而，电子显微镜的极限分辨率可被确定。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电子显微镜和用于测量电子显微镜的散焦散布(Defokusstreuung)或极限分辨率的方法。 技术现状在电子显微镜中用电子束照射被观察物。从物反射的或透过物的 辐射或由物发射的二次电子借助于电磁透镜聚焦到物的放大图像。物 结构所能达到的最佳分辨率(极限分辨率或信息极限)在物理上受限于lA以下的范围内，K丄Hanl3en、 L. Trepte的文章"电流波动与电压波动 以及束电子的能量宽度对于电子显微镜的对比度传递及分辨率的影 响，，(K.J. Hanikn , L. Trepte ， Der Einflufi von Strom匿 und Spannungsschwankungen， sowie der Energiebreite der Strahlelektronen auf Kontrastiibertragung und Aufldsung des Elektronenmikroskops, Optik 32.519 (1971))和K. Ishizuka的文章"TEM中的晶体图像的对比 度传递，，(K. Ishizuka， Contrast trans本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子显微镜，包括用于使电子束倾斜的装置和用于确定衍射图的强度分布的方向依赖性的装置，　其特征在于：　评估单元，所述评估单元能够根据至少一个使用所述电子显微镜记录的衍射图的强度分布的方向依赖性结合所述电子束的倾斜来确定所述电子 显微镜的散焦散布或焦点分布。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：A苏斯特，J巴塞尔，
申请(专利权)人：于利奇研究中心有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]