温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及电子显微镜和测量电子显微镜的散焦散布或极限分辨率的方法。它利用这样的情况：在倾斜照射下，电子显微镜的可能存在的像差和散焦散布会使衍射图中的强度分布发生依赖于方向的改变。特别是，衍射图的包络会依赖于方向地变窄。如果电子束的倾斜和可能...
该专利属于于利奇研究中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过于利奇研究中心有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。