【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】结构化表面的生产
[0001]本专利技术涉及针对性地生产表面结构,尤其复杂表面结构,尤其基于弹性材料通过拉伸、不同表面区域的选择性处理和松弛针对性地生产低至微米和纳米范围的且同时是三维结构化地表面。
技术介绍
[0002]表面技术几乎在所有制造工艺中都发挥着重要作用,从金属加工行业到半导体行业再到生物医学,从机械工程、设备工程和工具制造到光学、微电子、医疗技术、汽车工业和塑料加工,再到建筑服务工程和建筑设计。表面技术的目的是改变表面性能,如耐腐蚀性、润湿性、生物相容性、流动特性等,并且甚至与实际材料或部件的原料无关。在大多数情况下,新的表面特性可以提高产品质量,或者使部件和产品能够作为首选被使用或利用。例如,可通过微结构化来创建此类功能表面。多种制造工艺可用于创建结构化表面,例如简单的折叠技术、X射线光刻、3D打印、激光烧蚀、各种涂层工艺和经典光刻技术,主要提及基于激光的微结构化工艺,用于各种材料的高精度结构化。所有这些工艺都有其优点,但也有缺点。由于微型化要求的增加,复杂的功能性微结构在许多应用中越来越重要。
[0003]X射线光刻技术可以制造出非常精细的结构,但价格非常昂贵,并且只能在相对较小的范围内进行。此外,带有悬垂的结构制造起来非常耗时费力。3D打印只能实现相对粗糙的结构,并且在生产量方面不是特别快速。通过激光烧蚀,可以制作类似的精细表面结构。然而,这种方法相对昂贵,不能生产带有悬垂的结构。
[0004]迄今为止,一种相对较少使用的超精密表面结构化方法是基于预应力弹性材料(通常是聚合物)与随 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于生产三维结构化表面的方法,包括以下步骤或由以下步骤组成:a)提供弹性材料;b)将所述材料拉伸预定的值并维持所述拉伸状态;c)将二维图案转移到处于所述拉伸状态的所述弹性材料上,或将二维图案引入到处于所述拉伸状态的所述弹性材料的表面上;d)取消所述拉伸,使所述材料对应于所述转移或引入的图案折叠起来;以及e)任选地对d)中产生的所述图案化表面进行成型。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤c)中的将所述二维图案引入所述表面按照如下步骤执行:c1a)通过覆盖或涂覆保护物质来保护所述弹性材料的特定表面区域;c1b)使氧等离子体或反应气体作用于所述未被覆盖或未受保护的表面区域;以及c1c)移除所述覆盖物或保护物质;或者c2a)在辐射源和所述弹性材料之间布置辐照掩模;c2b)借助电磁辐射对所述拉伸状态下的所述材料按照预定辐射强度辐照特定持续时间;以及c2c)移除所述辐照掩膜。3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述弹性材料是由至少两种不同材料组成的工件的最上层。4.根据权利要求2或3中的一项所述的方法,其特征在于,所述辐照掩膜、辐照持续时间、辐射强度和/或拉伸程度根据所使用的弹性材料来设置。5.根据权利要求2至4中的一项所述的方法,其特征在于,所述辐照掩膜、所述辐照持续时间、所述辐射强度和/或所述拉伸程度借助机器学习和/或计算机模拟通过实验、实验迭代和/或迭代来确定。6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述实验迭代确定包括以下步骤或由以下步骤组成:i)针对限定的弹性材料指定所需的三维表面结构;iia)提出二维表面图案,所述二维表面图案在通过辐照掩膜进行辐照后,应折叠成尽可能与所述指定结构相似的结构;iib)提出所述辐照持续时间和所述辐射强度参数,和/或要观察的拉伸程度参数;iii)执行根据权利要求1的步骤a)至d);iv)将步骤iii)中获得的所述结构与所述指定结构进行比较;v1)在步骤iii)中获得的所述三维表面结构与所述指定的表面结构充分匹配的情况下,输出所述获得的产品;v1a)任选地存储iia)中提出的所述结构和/或iib)中提出的所述参数以及所述相应获得的三维表面结构,优选为它们指定明确的名称;v2)在步骤iii)中获得的所述三维表面结构与所述指定的表面结构不充分匹配的情况下,重复步骤ii)至iv),同时通过算法、优选通过神经网络更改iia)中提出的所述结构和/或更改iib)中提出的所述参数;以及
v2a)任选地存储iia)中提出的所述结构和/或iib)中提出的所述参数以及所述相应获得的三维表面结构,优选为它们指定明确的名称。7.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述迭代确定通过机器学习执行,包括以下步骤或由以下步骤组成:I)针对限定的弹性材料指定所需的三维表面结构;IIa)提出二维表面图案,所述图案通过算法、优选在神经网络中,在通过辐照掩膜的辐照后应折叠成尽可能与所述指定结构相似的结构;IIb)通过算法、优选在神经网络中,提出所述辐照持续时间和所述辐射强度参数,和/或要观察的拉伸程度参数;IIIa)利用步骤IIb)中提出的所述参数通过模拟程序,优选地基于有限元方法的模拟程序,计算步骤IIa)中提出的所述表面图案的折叠;IIIb)将所述计算结果作为学习数据集传输到所述神经网络;IV)将步骤III)中计算出的所述结构与所述指定的结构进行比较;V1)在步骤III)中计算出的所述三维表面结构与所述指定...
【专利技术属性】
技术研发人员:J,
申请(专利权)人:于利奇研究中心有限公司,
类型:发明
国别省市:
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