电子显微镜的小聚光镜制造技术

本发明专利技术公开一种电子显微镜的小聚光镜，属电子显微镜领域。包括：下极靴为上端开口的圆筒体，圆筒体上端开口外设有法兰，下端设有圆锥形底，圆锥形底上设有电子束通孔；上极靴为中空的圆筒体，上极靴下端设有环形凸台，上极靴设在下极靴内；磁路线圈组件由环形线圈套装在线圈筒架上构成，线圈筒架为中空圆筒体，圆筒体两端设有固定环形线圈的挡板；磁路线圈组件套装在下极靴内的上极靴上，夹设在上、下极靴之间，磁路线圈组件底端通过线圈垫板设置在上极靴的环形凸台上；下极靴的上端开口的法兰上设置能盖住下极靴内各部件的隔圈，隔圈与下极靴固定连接，隔圈的中心部位设有通孔。该小聚光镜结构简单，使用方便。

A small condenser for an electron microscope

The invention discloses a small condenser for an electronic microscope, belonging to the field of electron microscopy. Including: the cylinder under the pole for the upper opening, the upper end of the cylinder opening outside the flange, the lower end is provided with a conical bottom conical bottom is provided with electron beam holes; on the pole shoe is a cylinder hollow pole, on the lower end is provided with an annular boss, on pole in pole; the magnetic ring line assembly is composed of an annular coil set coil cylinder frame, coil tube frame is a hollow cylindrical body, both ends of the cylinder body is provided with a fixed baffle ring coil; magnetic coil assembly is sheathed on the lower pole of the pole piece, is clamped between the upper and lower pole, the magnetic coil assembly is arranged at the bottom end of the ring-shaped convex table in on the pole through the coil plate; can ring covers the lower pole of various components in the setting of flange of the pole top opening on the septal ring and the lower pole piece is fixedly connected with the center spacer ring is provided with a through hole. The utility model has the advantages of simple structure and convenient use.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子显微镜的小聚光镜部件，特别是指涉及一种适用于电子显微镜的 将第二聚光镜的成像按某一方向会聚在样品平面上的小聚光镜。
技术介绍
电子显微镜是一种可以观察微小物质的重要仪器，人们利用它可以观察0.25nm 以下的物质。电子显微镜以电子束作为照明光源，以磁透镜或静电透镜作为偏转电子的装 置，实现光学放大。电子显微镜在物理、化学、材料、科学研究、生命科学、地质、探矿、机械工 业、电子工业等军民领域具有非常广泛的应用前景。电子显微镜通过电子束照射在样品上，实现对样品的观察。电子枪和聚光镜是电 子显微镜的照明系统。电镜要求聚光镜能提供最大亮度的电子束，照射在样品上的电子束 孔径角必须能在一定范围内调节，照明斑点的大小可按需要选择。聚光镜是以电子枪的交 叉点作为成像的物体而成像到样品上，一般认为电子枪交叉点的尺寸为几十微米。为了保 持一定高度并把电子束斑对样品加热的影响限制在最低，要求样品处的束斑为几个微米， 对此，聚光镜必须把电子束斑缩小。小聚光镜与第一聚光镜、第二聚光镜一起组成电子显微 镜的聚光镜结构，将电子枪射出的电子束按某一方向会聚在样品平面上。专利
技术实现思路
本专利技术实本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种电子显微镜的小聚光镜，其特征在于，包括：上、下极靴、磁路线圈组件、隔圈、线圈垫板；下极靴为上端开口的圆筒体，圆筒体上端开口外边沿设有连接用的法兰，下端设有圆锥形底，圆锥形底上设有电子束通孔；上极靴为中空的圆筒体，上极靴下端设有环形凸台，上极靴设置在下极靴内；磁路线圈组件由环形线圈套装在线圈筒架上构成，线圈筒架为中空圆筒体，圆筒体两端设有固定环形线圈的挡板；磁路线圈组件套装在下极靴内的上极靴上，夹设在上、下极靴之间，磁路线圈组件底端通过线圈垫板设置在上极靴的环形凸台上；下极靴的上端开口的法兰上设置能盖住下极靴内各部件的隔圈，隔圈与下极靴固定连接，隔圈的中心部位设有通孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：董全林，姚骏恩，张春熹，孟凡念，崔永俊，张秀艳，杨彦杰，于成交，袁水平，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：11