磁悬浮平面进给运动装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种磁悬浮平面进给运动装置，采用平面电机进行驱动，定子平台上装有用硅钢片均匀组成的方形凸头阵列定子，在Y向动平台上安置了2套相互正交的三相励磁绕组动子，动子平台的支撑分别由2个方向上的磁悬浮滑套来实现，磁悬浮滑套安装在X、Y方向圆柱导轨上，通过对磁悬浮滑套中的线圈电流控制使动子平台悬浮起来，提高了平面运动的平稳性和效率，通过调节对三相励磁绕组动子施加激励电压，产生电磁驱动力控制动子平台的平面运动方向。在2个运动方向采用光栅传感器进行运动位置检测，实现精确的平面进给运动。可应用于光电子、微电子等产品制造的专用设备上，具有广泛的市场前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种二坐标平面运动装置，特别是涉及一种磁悬浮平面进给运动装置。
技术介绍
传统的平面进给运动装置由两个坐标方向旋转电机通过直线运动转换机构的变换成直线运动叠加而成。由于直线运动转换机构存在摩擦、侧隙、变形等一系列问题，精度很难达到较高的水平，且驱动效率不高，动态响应速度慢。近年来，直线电机开始在二维平面定位装置中获得应用，但是，这种定位装置仍然采用单维运动机构叠加的模式，难以满足光电子、微电子等产品制造的超精密现代加工设备的需要。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种驱动效率高、动态响应速度快、运动平稳性高的磁悬浮平面进给运动装置。为了解决上述技术问题，本专利技术提供的磁悬浮平面进给运动装置，包括定子平台、 X向动平台、X方向圆柱导轨、Y向动平台、Y方向圆柱导轨和工作平台，所述的定子平台上装有方形凸头阵列定子，所述的X向动平台通过X向磁悬浮滑套滑动套装在所述的X方向圆柱导轨上，所述的Y向动平台通过Y向磁悬浮滑套滑动套装在所述的Y方向圆柱导轨上， 在所述的工作平台上安置了 2套相互正交的三相励磁绕组动子。在所述的定子平台上的其中一个X方向圆柱导轨的一侧装有X本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种磁悬浮平面进给运动装置，包括定子平台（１）、Ｘ向动平台（１５）、Ｘ方向圆柱导轨（９）、Ｙ向动平台（２）、Ｙ方向圆柱导轨（１２）和工作平台（３），其特征在于：所述的定子平台（１）上装有方形凸头阵列定子（７），所述的Ｘ向动平台（１５）通过Ｘ向磁悬浮滑套（１４）滑动套装在所述的Ｘ方向圆柱导轨（９）上，所述的Ｙ向动平台（２）通过Ｙ向磁悬浮滑套（４）滑动套装在所述的Ｙ方向圆柱导轨（１２）上，在所述的工作平台（３）上安置了２套相互正交的三相励磁绕组动子（１６）。

【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮平面进给运动装置，包括定子平台(1)、X向动平台(15)、X方向圆柱导轨(9)、Y向动平台O)、Y方向圆柱导轨(12)和工作平台(3)，其特征在于所述的定子平台(1)上装有方形凸头阵列定子(7)，所述的X向动平台(15)通过X向磁悬浮滑套(14)滑动套装在所述的X方向圆柱导轨(9)上，所述的Y向动平台( 通过Y向磁悬浮滑套(4) 滑动套装在所述的Y方向圆柱导轨(12)上，在所述的工作平台(3)上安置了 2套相互正交的三相励磁绕组动子(16)。2.根据权利要求1所述的磁悬浮平面进给运动装置，其特征在于在所述的定子平台(I)上的其中一个X方向圆柱导轨(9)的一侧装有X向光栅传感器定尺(10)，在所述的X 向动平台(1 的一侧安装有与所述的X向光栅传感器定尺(10)对应检测的X向动尺探头(II)；在所述的X向动平台(15)上的其中一个Y方向圆柱导轨(12)—侧装有Y向光栅传感器定尺(6)，在所述的Y向动平台( 的一侧安装有与所述的Y向光栅传感器定尺(6)...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖平，
申请(专利权)人：中南大学，
类型：发明
国别省市：43