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本发明公开了一种磁悬浮平面进给运动装置，采用平面电机进行驱动，定子平台上装有用硅钢片均匀组成的方形凸头阵列定子，在Y向动平台上安置了2套相互正交的三相励磁绕组动子，动子平台的支撑分别由2个方向上的磁悬浮滑套来实现，磁悬浮滑套安装在X、Y方向...
该专利属于中南大学所有，仅供学习研究参考，未经过中南大学授权不得商用。

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