【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及的是一种微机电系统
的装置，具体是一种定子内嵌式电磁悬 浮转子微马达。
技术介绍
采用悬浮技术可避免由于接触带来的磨擦和磨损，从而得到高的移动速度或转 速，同时还能避免由于接触而造成对材料的污染，因此悬浮技术在生产或生活中应用得较 多，如磁浮列车、静电悬浮轴承、电磁悬浮冶炼技术、静电陀螺等。电磁悬浮完全是一种无源 悬浮技术，即它不需要外加反馈控制电路而实现自主悬浮，同时电磁悬浮对电极间的间隙 没有严格要求，与静电悬浮相比，电磁悬浮装置结构简单，控制电路不复杂，对结构尺寸精 度要求不高。国内外应用硅的表面微细加工技术或者体微细加工技术加工出了多种结构的 微振动陀螺，但由于种种原因微振动陀螺很难达到传统陀螺的高精度。上世纪90年代， Siearw00Cl等人提出了一种电磁悬浮微转动陀螺，电磁悬浮微转动陀螺是由平面线圈、感应 电极和微转子等主要部分组成的，其中平面线圈根据其功能不同又分成悬浮线圈、旋转线 圈和稳定线圈三种。电磁悬浮微转动陀螺是依靠电磁感应原理和电磁力理论得以悬浮和旋 转的，平面线圈上方放有微转子，悬浮线圈位于最靠近中心的位置，紧靠悬...
【技术保护点】
１．一种定子内嵌式电磁悬浮转子微马达，包括：转子以及转动设置于转子内的定子，其特征在于：所述的转子包括：转子圆板和联结柱，其中：若干联结柱的两端分别与两块转子圆板垂直固定连接；所述的定子包括：支撑柱、基体、基板以及具体有相同结构的上定子和下定子，其中：支撑柱位于转子的圆心且两端分别与下定子和基板固定连接，上定子和下定子分别固定联结于基体的上表面和下表面。
【技术特征摘要】
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