灯单元制造技术

提供一种灯单元(20)，即使在光源中具备全长1800mm以上的大型的准分子灯(40)，也能够在中间部和端部保持一定的水准的处理效果。该灯单元通过灯保持体(26)支撑准分子灯(40)的两端而在筐体(21)内配置有准分子灯(40)，该准分子灯(40)在放电容器(41)的上壁面(42)及下壁面(43)的外表面设置有电极(46、47)并在放电容器内封入有氙气，在该放电容器内产生准分子放电，所述灯单元的特征在于，在所述准分子灯(40)的长边方向的中间部下方配置有中间支撑体(50)，从下侧支撑准分子灯(40)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在半导体或液晶基板的制造工序中用于清洗基板等的准分子光照射装置中，在准分子灯的保持结构具有特征的灯单元。
技术介绍
近年来，在半导体或液晶基板的制造工序中，作为除去附着在硅晶片或玻璃基板的表面上的有机化合物等污垢的方法，使用了紫外线的干洗方法被广泛利用。尤其是在使用了从准分子灯放射的真空紫外线的臭氧等活性氧的清洗方法中，提出有各种以更高效率且短时间进行清洗的清洗装置。图6是示出日本特开2009-252662号公报中公开的紫外线照射装置100的剖视图。紫外线照射装置100由在构成为箱状的筐体121内具备准分子灯140的灯单元 120 ；以及载置灯单元120并输送被照射体W的输送机构130构成。灯保持体1 延伸到与准分子灯140的两端相对应的位置。准分子灯140通过灯保持体1 由筐体121支撑。输送机构130通过设置在两端的驱动部132驱动辊131旋转， 而将被照射体W依次输送到准分子灯140的正下方。专利文献1 日本特开2009-252662号公报然而，伴随被照射体W即液晶基板的大型化，要求准分子灯140的长条化。而且， 还提出有为了使液晶基板的生产高速化而要求提高紫外线照射装置100的处理能力，并将准分子灯形成为宽幅的情况。由于上述理由，准分子灯140有大型化的倾向，但各部件变大而重量增加了的准分子灯140的基于自重的弯曲量增大。准分子灯140由于仅在两端由灯保持体1 支撑， 因此存在尤其是中间部的弯曲量增大，被照射体W在准分子灯140的中间部和端部的距离不同，由于紫外线强度的不同而处理效果发生变动的问题。
技术实现思路
本专利技术为了解决上述问题而作出，其目的在于提供一种即使在光源中具备全长 1800mm以上的大型的准分子灯，也能够在中间部和端部保持一定的水准的处理效果的灯单兀。本专利技术的第一专利技术涉及灯单元，其通过灯保持体支撑准分子灯的两端而在筐体内配置有准分子灯，该准分子灯具备通过相互相面对配置的上壁面及下壁面、以及将该上壁面及下壁面连结的侧壁面形成有截面矩形形状的管的放电容器，在该放电容器的上壁面和下壁面的外表面设置有电极并在放电容器内封入有氙气，在该放电容器内产生准分子放电，所述灯单元的特征在于，在所述准分子灯的长边方向的中间部下方配置有中间支撑体， 从下侧支撑准分子灯。另外，本专利技术的第二专利技术以第一专利技术为基础，其特征在于，所述中间支撑体安装在所述筐体上。另外，本专利技术的第三专利技术以第二专利技术为基础，其特征在于，在所述筐体内并列配置有多个准分子灯，在相邻的准分子灯之间的固定在筐体的上表面上的中间侧面安装有中间支撑体。另外，本专利技术的第四专利技术以第二或第三专利技术为基础，其特征在于，安装有所述中间支撑体的各个保持部安装成在准分子灯的长边方向上不重合。另外，本专利技术的第五专利技术以第二专利技术为基础，其特征在于，所述中间支撑体由安装在筐体上的保持部和支撑准分子灯的支撑部构成，所述支撑部的向准分子灯的下壁面突出的前端的宽度变窄。另外，本专利技术的第六专利技术以第一或第四专利技术为基础，其特征在于，所述中间支撑体是从一方的保持部架设到另一方的保持部的金属线。专利技术效果根据本专利技术的第一专利技术的灯单元，由于中间支撑体从下侧支撑准分子灯的长边方向的中间部，因此即使是长条的准分子灯也能够抑制中间部的弯曲，而且即使准分子灯由于点灯时的热量而伸长或缩短，中间支撑体也不限制灯的动作而不会产生不需要的应力。根据本专利技术的第三专利技术的灯单元，由于在相邻的准分子灯之间的固定在筐体的上表面上的中间侧面安装有中间支撑体，因此即使在筐体内并列配置有多个准分子灯的情况下，也能够抑制各准分子灯的中间部的弯曲，使准分子灯与被照射体的距离恒定，保持一定的水准的处理效果。根据本专利技术的第四专利技术的灯单元，由于安装有中间支撑体的各个保持部安装成在准分子灯的长边方向上不重合，因此使被处理体沿准分子灯的横向移动而进行处理时，能够使被支撑部遮光的部分分散而减小影响。根据本专利技术的第五专利技术的灯单元，通过使支撑部的向准分子灯的下壁面突出的前端的宽度变窄，而能够减小被支撑部遮光的部分，从而减小对处理的影响。根据本专利技术的第六专利技术的灯单元，通过架设金属线而支撑准分子灯，即使更换为横宽的长度不同的准分子灯也能够通过中间支撑体进行支撑。附图说明图1是示出紫外线照射装置的剖视图。图2是用于说明灯单元的立体图。图3是剖开灯单元的中间部的剖视图。图4是用于说明将准分子灯并列排列的灯单元的图。图5是从下方观察灯单元的中间部的图。图6是示出紫外线照射装置的剖视图。具体实施例方式图1是示出紫外线照射装置10的剖视图。紫外线照射装置10由在构成为箱状的筐体21内具备准分子灯40的灯单元20 ； 以及载置灯单元20并输送被照射体W的输送机构30构成。输送机构30具备载置灯单元20的筐体21且在内部沿与纸面平行的方向并列配置的多个辊31 ；以及设置在各辊31的两端并驱动辊31旋转的驱动部32。被搬入到输送机构30内的被照射体W载置于辊31，通过驱动辊31被驱动旋转，而被搬入到准分子灯40的正下方。被搬入的被照射体W接近准分子灯40，从准分子灯40照射真空紫外线。被真空紫外线照射到的被照射体W被搬出到输送机构30外。图2是用于说明灯单元20的立体图。灯单元20在覆盖上表面22和侧面23、且在下方成为开口部M的矩形的箱型的铝制的筐体21内配置有准分子灯40。筐体21的尺寸例如为高度70mm、开口 160mm、全长 3500mm，准分子灯40的尺寸例如为高度18mm、横宽70mm、全长3300mm。以从筐体21的侧面23分别离开40mm且使放电容器的下壁面43与筐体21的开口部M的线一致的方式在筐体21内配置有准分子灯40。在筐体21与准分子灯40之间沿准分子灯40的长边方向设置有气体流通管27。 由选自氮、氦、氩、氖、氪、氙中的至少一种气体形成的惰性气体从筐体21的上表面22上开设的孔向气体流通管27供给。而且，也可以取代惰性气体而使在氮中混合氧的气体或大气流过气体流通管27。在气体流通管27的面向准分子灯40的侧面上沿长边方向以预定的间隔设置喷出口 28。从气体流通管27的喷出口 28向筐体21内喷出惰性气体时，筐体21内成为氧浓度低的置换空间。在筐体21的上表面22的与准分子灯40的两端相对应的位置上，从筐体21的上表面22朝下安装灯保持体沈，其前端支撑在准分子灯40的两端。即，准分子灯40由一对灯保持体26保持两端，从而被支撑在筐体21内部。准分子灯40在由合成石英玻璃等石英玻璃、蓝宝石等的良好地透过真空紫外线的截面矩形形状且中空长条的放电容器41的内部以例如10 SOltfa气密地封入有由稀有气体或混合稀有气体和卤素气体而得到的混合气体构成的惰性气体。放电容器41中的上壁面42的外表面具备高电压供给电极46，在下壁面43的外表面具备接地电极47，所述电极46、47相互相对向配置。电极46、47成为网状结构，从网眼的间隙透过光，由铝、镍、金等金属材料构成，通过对包含上述金属材料的导电性浆糊进行丝网印刷或对金属材料进行真空蒸镀而形成。在电极46、47上连接有例如供给频率为10 IOOkHz且电压为IkVrms 几十 kVrms的矩形波交流电压的高频电源。电极46、47之间由于配置有在放电容器41的内部封入了惰性本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种灯单元，其通过灯保持体支撑准分子灯的两端而在筐体内配置准分子灯，该准分子灯具备通过相互相面对配置的上壁面及下壁面、以及将该上壁面及下壁面连结的侧壁面形成有截面矩形形状的管的放电容器，在该放电容器的上壁面和下壁面的外表面设置有电极并在放电容器内封入有氙气，在该放电容器内产生准分子放电，所述灯单元的特征在于，在所述准分子灯的长边方向的中间部下方配置有中间支撑体，从下侧支撑准分子灯。

【技术特征摘要】
2010.01.07 JP 2010-0018071.一种灯单元，其通过灯保持体支撑准分子灯的两端而在筐体内配置准分子灯，该准分子灯具备通过相互相面对配置的上壁面及下壁面、以及将该上壁面及下壁面连结的侧壁面形成有截面矩形形状的管的放电容器，在该放电容器的上壁面和下壁面的外表面设置有电极并在放电容器内封入有氙气，在该放电容器内产生准分子放电，所述灯单元的特征在于，在所述准分子灯的长边方向的中间部下方配置有中间支撑体，从下侧支撑准分子灯。2.根据权利要求1所述的灯单元，其特征在于，所述中间支撑体安...

【专利技术属性】
技术研发人员：山森贤治，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP