【技术实现步骤摘要】
这里描述的实施例总体上涉及一种固态图像捕捉设备以及用于制造该设备的方法。
技术介绍
传统上已经开发出正面受照的固态图像捕捉设备，其中在半导体衬底的顶面上提 供多层互连线层；并且在所述多层互连线层上提供滤色器和微透镜。在正面受照的固态图 像捕捉设备中，在半导体衬底的表面层部分中形成光电二极管；并且在多层互连线层中形 成转移栅极(transfer gate)。光电二极管例如由被ρ型阻挡层划分为每个像素的η型扩 散区域形成。经由微透镜、滤色器以及多层互连线层从上方入射到半导体衬底上的光经由 光电二极管实现光电转换；并且经由转移栅极读取所生成的电子。这种正面受照的固态图像捕捉设备的光利用效率很低，这是因为从外面进入的光 在通过多层互连线层之后才入射到半导体衬底上。因此，当像素尺寸减小时，入射到每个像 素的光电二极管上的光量降低；并且灵敏度也会不期望地降低。另外，当像素尺寸减小时， 在像素之间的距离也会减小。因此，当入射到一个像素上的光由于多层互连线层中的金属 互连线经历漫反射并且进入另一像素时，也会出现诸如混色之类的问题。混色造成颜色分 辨率降低；并且可能无法区分细微的...
【技术保护点】
一种固态图像捕捉设备，包括：包括互连线的多层互连线层；在所述多层互连线层上的半导体衬底，所述半导体衬底具有通槽；在所述半导体衬底中的所述通槽周围的柱状体扩散层；以及在所述通槽中的绝缘部件。
【技术特征摘要】
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。