微机电装置与其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种微机电（ＭＥＭＳ）装置与其制造方法。微机电装置组装包括一第一基板，其具有多个电子装置、多个第一接合区域以及多个第二接合区域。微机电装置组装尚包括一第二基板，其与第一基板于多个第一接合区域接合。第二基板上方设置一第三基板，其具有一凹槽区域以及多个托脚结构，且其与第一基板于多个第二接合区域接合。多个第一接合区域提供第一基板与第二基板间的导电路径，而多个第二接合区域提供第一基板与第三基板间的导电路径。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用以制造一微机电装置的方法，其包含：提供一第一基板具有一第一表面以及相反的一第二表面，该第一基板包含一或多个电极以及控制电路，其中该第一基板包含一第一接合区域设置于该第一表面，以及一第二接合区域设置于该第一表面；提供一第二基板具有一第一表面及一第二表面；将该第二基板与该第一基板接合以致该第二基板至少部分的该第一表面与该第一基板的该第一接合区域接触；形成一微机电装置于该第二基板中；提供一第三基板包含一凹槽区域，其以多个托脚结构围成；以及将该第三基板与该第一基板的该第一表面接合，以使该微机电装置包围于该凹槽区域内，其中该些托脚结构与该第一基板的该第二接合区域接触，且该第二基板与该第一基板间通过...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吴华书，钱元晧，钟士勇，曾立天，叶裕德，
申请(专利权)人：美商明锐光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]