微机电系统装置及其半成品及制造方法制造方法及图纸

技术编号:7495236 阅读:140 留言:0更新日期:2012-07-10 19:23
一种微机电系统装置的制造方法是设置一导电电路以维持微机电系统的各个元件为等电位,以防止制造过程中静电对微机电系统的各个元件所造成的破坏。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴华书锺士勇钱元晧曾立天叶裕德
申请(专利权)人:美商明锐光电股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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