【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种多光源感光油墨曝光机。
技术介绍
曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的 复杂的半导体加工设备,在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电 子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一 定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。目前,现有的曝光机都 是在工件正上方设有单独光源,下方有单独光源,即传统的曝光机只能针对平面工件表面 进行曝光。如对立体工件表面感光油墨曝光时,则会在工件侧面出现曝光死角,导致产品质 量不合格。因此,单光源曝光机无法对立体工件进行曝光,只能针对平面工件进行曝光。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种多光源感光油墨曝光机,在对立体工件表面感光油 墨曝光时,不留曝光死角,使曝光技术可应用于立体工件。本技术的目的是通过以下技术方案来实现一种多光源感光油墨曝光机,包括底座、工作台和曝光室,所述工作台固定在底座 的顶端,工作台的中部设有凹槽,凹槽的内部设有滑轨,滑轨上设有曝光平台,曝光平台由 相互扣合的顶盖和支座构成,支座与顶盖活动连接,支座和顶盖的前端相对位置处均固定 把手,所述曝光室固定在工作台的顶端,曝光室的底面、四个内侧面以及相邻两内侧面的夹 角处均设有光源。本技术的有益效果为在工件上部的东、南、西、北、东南、东北、西南、西北等 各方向根据立体工件的形状,加装多处光源,使立体工件在曝光时,所有侧面均有光源直接 照射,不留曝光死角,使曝光技术可应用于立体工件。附图说明下面根据附图对本技术作进一步详细说明。图1是本技术实施例所述 ...
【技术保护点】
一种多光源感光油墨曝光机,包括底座(1)、工作台(2)和曝光室(3),所述工作台(2)固定在底座(1)的顶端,工作台(2)的中部设有凹槽(4),凹槽(4)的内部设有滑轨(5),滑轨(5)上设有曝光平台(6),曝光平台(6)由相互扣合的顶盖(7)和支座(8)构成,支座(8)与顶盖(7)活动连接,支座(8)和顶盖(7)的前端相对位置处均固定把手(9),其特征在于:所述曝光室(3)固定在工作台(2)的顶端,曝光室(3)的底面、四个内侧面以及相邻两内侧面的夹角处均设有光源(10)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:沈再清,
申请(专利权)人:三轴电子苏州有限公司,
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]
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